NSC95-EPA-Z-033-002

3-1-1 氣 體 供 應 系 統在 氣 體 供 應 系 統 方 面 , 本 實 驗 所 使 用 之 鋼 瓶 , 包 含 了 進 行 主 要 反 應 的 四 氟 甲 烷 、六 氟 化 硫 、 氮 氣 以 及 氧 氣 ; 其 中 氮 氣 為 本 實 驗 系 統 之 載 氣 , 且 為 傅 立 葉 轉 換 紅 外 線 光譜 儀 之 管 路 清 洗 氣 體 。3-1-2 參 數 控 制 系 統本 實 驗 所 需 控 制 的 參 數 包 括 : 氣 體 進 料 流 量 、 電 漿 功 率 , 所 需 設 備 為 微 波 功 率 供應 器 、 質 量 流 量 控 制 器 等 。3-1-3 微 波 電 漿 火 炬 系 統微 波 電 漿 火 炬 系 統 部 分 , 分 為 微 波 供 應 系 統 與 反 應 器 系 統 ; 微 波 供 應 系 統 包 括 電源 供 應 器 ( 最 大 輸 出 功 率 為 3.5 千 瓦 ) 與 用 來 產 生 頻 率 為 2.45GHz 之 連 續 波 的 磁 控 管 ,以 及 將 連 續 波 導 入 反 應 系 統 之 導 波 裝 置 。 反 應 器 系 統 部 分 , 反 應 氣 體 由 側 邊 進 入 , 氣體 入 口 為 對 稱 的 兩 孔 , 進 入 腔 體 後 會 形 成 漩 渦 性 氣 流 , 可 降 低 反 應 器 壁 的 溫 度 。 氣 體入 口 下 方 接 一 石 英 管 ( 直 徑 為 27 mm, 長 為 265 mm) 作 為 電 漿 火 矩 的 主 體 , 石 英 管 下方 為 冷 卻 腔 體 (150×150×250 mm 3 ), 為 含 有 水 套 的 不 鏽 鋼 腔 體 , 此 冷 卻 裝 置 可 有 效 抑制 再 結 合 與 逆 反 應 的 進 行 , 維 持 電 漿 程 序 後 之 實 際 轉 化 效 果 。3-1-4 PECVD 系 統本 研 究 中 , 將 利 用 PECVD 系 統 進 行 半 導 體 廠 排 放 之 氣 體 廢 棄 物 模 擬 。 使 用 13.56MHz 之 電 源 供 應 器 ( 最 大 輸 出 功 率 為 600 瓦 )。 反 應 系 統 為 電 容 偶 合 平 板 式 電 漿 反 應器 , 上 電 極 接 RF 電 源 供 應 器 , 下 電 極 則 為 接 地 端 。 實 驗 將 通 入 SF 6 氣 體 , 並 加 入 Si晶 片 , 藉 以 模 擬 蝕 刻 程 序 , 並 將 尾 端 之 廢 氣 通 入 電 漿 火 炬 系 統 進 行 削 減 程 序 。19