NSC95-EPA-Z-033-002

密 之 O 環 有 些 微 熔 化 之 現 象 因 而 對 碳 平 衡 造 成 影 響 , 但 研 究 結 果 發 現 所 有 碳 平 衡 值皆 介 於 0.9~1.2 之 間 , 故 由 碳 平 衡 得 知 FTIR 所 偵 測 之 產 物 濃 度 準 確 度 尚 可 , 但 一 致性 高 。1.6N 2 = 20slm , CF 4 /O 2 =50/50 sccm1.4Carbon Balance1.21.00.80.61000 1100 1200 1300 1400 1500 1600Power (W)( 圖 4-3 ) 電 漿 功 率 對 碳 平 衡 之 影 響 (N 2 =20 slm, CF 4 /O 2 =50/50 sccm)4-2 氧 氣 流 量 對 四 氟 甲 烷 轉 換 之 影 響圖 4-4 為 固 定 微 波 功 率 為 1200 W,CF 4 進 料 流 量 為 50 sccm, 提 高 O 2 流 量 至 CF 4/ O 2比 例 為 1/5, 研 究 其 對 CF 4 轉 化 率 之 影 響 , 結 果 發 現 O 2 進 料 流 量 大 於 50 sccm 後 , 額外 添 加 的 O 2 對 於 CF 4 的 轉 化 效 果 並 沒 有 顯 著 的 影 響 , 主 要 原 因 為 CF 4 於 1200 W 微波 功 率 下 的 解 離 程 度 趨 於 一 定 , 而 50 sccm 的 O 2 剛 好 提 供 了 足 夠 的 O 自 由 基 與 CF x自 由 基 進 行 反 應 , 因 此 多 餘 的 O 2 對 於 轉 化 的 效 果 並 沒 有 正 面 的 影 響 , 若 持 續 增 加 O 2進 料 流 量 甚 至 有 可 能 導 致 能 量 消 耗 於 解 離 O 2 而 使 CF 4 轉 化 效 果 降 低 。O 2 進 料 流 量 對 產 物 的 影 響 則 如 圖 4-5 所 示 , 圖 中 可 發 現 O 2 流 量 較 大 時 可 生 成 較多 的 O 自 由 基 與 N 自 由 基 反 應 生 成 NO 2 , 並 於 Si-O 鍵 被 打 斷 時 適 時 填 補 , 回 復 Si-O鍵 結 , 降 低 石 英 管 壁 的 蝕 刻 ; 而 首 先 生 成 的 COF 2 與 氧 原 子 反 應 生 成 CO 2 而 呈 現 下 降的 趨 勢 。26