Dokument 1.pdf - RWTH Aachen University
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4 Zusammenfassung<br />
In dieser Arbeit wurde eine Kombinationsapparatur aus einem Rasterelektronenmikroskop<br />
(REM) und einem Vier-Spitzen-Rastertunnelmikroskop (RTM) aufgebaut.<br />
Mit dieser Apparatur wurden die Ladungstransportmessungen an selbst-organisierten<br />
Nanostrukturen im Ultrahochvakuum (UHV) durchgeführt.<br />
Die am Anfang verfügbare UHV-Kombinationsapparatur, bestand aus einem Zwei-<br />
Spitzen-Rastertunnel- und einem Rasterelektronenmikroskop. Ein neuer Vierspitzen-<br />
RTM-Kopf nach dem koaxialen Besocke-Prinzip wurde aufgebaut. Die kompakte<br />
Konstruktion eines RTM-Kopfes ist erst durch das neuartige Design des z-Antriebes<br />
möglich geworden. Dadurch konnte man ein gut bewährtes Besocke-Prinzip auf<br />
kleinsten Raum anwenden. Die RTM-Einheiten sind platzsparend koaxial zueinander<br />
angeordnet. Nach dem erfolgreichen Test des neugebauten RTM-Kopfes an Luft<br />
wurde der RTM-Kopf in die UHV-Umgebung der Analysekammer verlagert. Die<br />
hohe mechanische Stabilität des Rastertunnelmikroskops erlaubt es eine atomare<br />
Auflösung mit jeder RTM-Einheit zu erreichen. Die Analysekammer aus Vollmetall<br />
verspricht eine mechanisch stabile und verwindungssteife Verbindung zwischen den<br />
Rastertunnel- und Rasterelektronenmikroskop. Die Kantenauflösung eines Rasterelektronenmikroskops,<br />
welches zur Anwendung kommt, beträgt in diesem System<br />
weniger als 70 nm, was eine kontrollierte und sehr präzise Navigation der Tunnelspitzen<br />
erlaubt.<br />
Der vierfache Satz einer Steuerelektronik des Rastertunnelmikroskops erlaubt dem<br />
Benutzer ein gleichzeitiges und unabhängiges agieren mit allen vier Tunnelspitzen.<br />
So ist es z.B. möglich mit allen vier RTM-Einheiten die Topographie an diversen<br />
Stellen der Probenoberfläche simultan aufzunehmen. Wenn die Tunnelspitzen durch<br />
die REM-Kontrolle genug nah zueinander positioniert sind, kann man in den Topographiebildern<br />
der RTM-Einheiten die gleichen Objekte auf der Probenoberfläche<br />
wiedererkennen.<br />
Um Ladungstransportmessungen der Probenstrukturen mit mehreren Tunnelspitzen<br />
zu ermöglichen, sollten die RTM-Einheit in der Lage sein die folgende Aktionen<br />
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