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2.2 REM/RTM-Kombinationsapparatur
darin zu sehen, dass bei einer Strahlenergie von 25 keV und 25 mm Arbeitsabstand
der Rasterbereich der Elektronensäule auf 1.0 mm × 1.0 mm begrenzt war, was für
den kontrollierten Spitzenwechsel nicht groß genug war. Auf der anderen Seite war
die Strahlenenergie von 5 keV hoch genug, um die Auflösungsgrenze zu erreichen. Die
Auflösung des REM war meistens durch die äußeren magnetischen Wechselfelder des
Stromnetzes mit 50 Hz Frequenz begrenzt. Der Einfluss der äußeren magnetischen
Wechselfelder bis zu einer begrenzten Höhe kann jedoch dadurch kompensiert werden,
indem man das Bild zeilenweise synchron zu einem 50 Hz Stromnetz aufnimmt.
Für eine lange Lebensdauer (etwa 6000 Stunden) eines Schottky-Emitter ist ein
Vakuumdruck besser als ∼ 10 −9 mbar während des gesamtes Betriebes notwendig.
Dafür sorgt eine Ionengetterpumpe, die über ein Winkelstück den Bereich des
Schottky-Emitters und Linse 1 pumpt und in der Abbildung 2.4 zu sehen ist. Vor
einem größeren Druckanstieg in der Analysekammer wird das REM durch ein differentielles
Pumpsystem geschützt. Dabei kann die Druckdifferenz von bis zu 2-3
Größenordnungen kompensiert werden. Zusätzlich besteht die Möglichkeit diesen
Bereich beim Belüften der Anlage mit einem pneumatisch betätigten Ventil (CIV-
Column Isolation Ventil) abzuschotten, um so den Eintritt von Wasser und anderen
Gasen zu vermeiden.
Die Elektronenoptik der Elektronensäule besteht aus elektrostatischen Linsen und
Strahlformungseinheiten, welche mit Hochspannung betrieben werden. In Abbildung
2.8 sieht man ein Schema der Elektronensäule. Die Inbetriebnahme der Elektronensäule
besteht aus folgenden Schritten:
• Hochspannungsbehandlung zur Entfernen der Adsorbaten von Oberflächen der
Säule
• Hochfahren des thermischen Feldemitters
• Ausrichten der Säule: grobes Ausrichten des thermischen Feldemitters, feines
Ausrichten der Strahlformungseinheiten der Linse 1, feines Ausrichten der
Strahlformungseinheiten der Linse 2
Zum Ausrichten der Elektronenoptik wird ein Picoampermeter an der Strahlablenkungseinheit
angeschlossen. Damit misst man den Strom der Elektronen, die durch
die Optik gelangen. Man versucht dabei eine maximale Strahldurchlässigkeit der
Elektronenoptik zu erreichen, sowie mögliche Abbildungsfehler wie sphärische Aberrationen
und Astigmatismus zu minimieren.
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