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2.1 UHV-System
Abbildung 2.4: Fotos der Analysekammer der REM/RTM-Kombinationsapparatur.
die Analysekammer über ein Pumpensystem der Präparationskammer permanent
versorgt wird. Dabei beträgt der Basisdruck 1 · 10 −10 mbar.
Die Analysekammer enthält Rasterelektronen- und ein Vier-Spitzen-Rastertunnelmikroskop.
An der oberen Seite der Kammer ist eine Elektronenkanone über
einen Adapterflansch angeschraubt. Seitlich davon in 45 Grad vertikaler Lage ist ein
Sekundärelektronen Detektor (Channeltron) befestigt. Von unten ist ein Vierspitzen-
Rastertunnelmikroskop eingebaut.
Konventionellen und damit dünnwandige UHV-Kammern aus Edelstahlblech ist
die Neigung zu mechanischen Schwingungen zwischen den angeflanschten UHV-
Komponenten immanent. Um eine hohe mechanische Stabilität der Kammer zu
erreichen wurde daher die Analysekammer aus ganzen Edelstahlstück ausgefräst. Dadurch
werden die möglichen mechanischen Schwingungen zwischen Elektronenkanone
und Probenhalter im RTM reduziert, sodass die bestmögliche REM-Abbildungsqualität
gewährleistet wird.
An der Rückseite der Analysekammer ist eine Turbomolekularpumpe über einem
Schieberventil angeflanscht. Das pneumatisch betätigte Schieberventil ist im Normalzustand
stets geschlossen. Dadurch wird ein separates Pumpen und Ausheizen
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