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2.2 REM/RTM-Kombinationsapparatur
chen zwischen Ausgangs- und Eingangsleitungen kommt. Die Zusatzschaltung samt
des Transimpedanzverstärker wird in dem metallischen Gehäuse zur Abschirmung
untergebracht.
2.2.7 Elektrische Funktionsweise des Rastertunnelmikroskops
Der elektrische Aufbau des Multispitzen RTM besteht aus einem vierfachen Satz
der Steuerelektronik für die Steuerung eines Einspitzen RTM. Die Steuerelektronik
besteht aus einem Rechner mit Datenerfassungsplatine, aus einem dreikanaligen
Hochspannungsverstärker, aus einem Umschalter und aus einem hochgelegten Transimpedanzverstärker.
Das prinzipielle Schema der elektrischen Verbindungen ist in
der Abbildung 2.17 zu sehen. Der elektrische Anschluss des Multispitzen RTM befindet
sich dabei auf dem unteren Flansch der Analysekammer. Auf diesem Flansch
befinden sich mehrere elektrische Durchführungen. Mittels elektrischen Durchführungen
werden elektrische Leitungen der Vakuumkammer nach außen ausgeführt.
RTM
ADC
PC32
Netzteil 1
Netzteil 2
U, I
X,Y
Z
FEMTO
Umschalter
I
U
HV-Amp
HV-Amp
HV-Amp
I
DAC
TMS320C32
U DSP-
X Feedback
Y
Z
HV-Gain
FEMTO-Gain
DIO
Abbildung 2.17: Prinzipieller Schema der RTM-Elektronik.
Die im Rechner eingebaute Datenerfassungsplatine PC32 von Innovative Integration
hat einen Digital Signal Prozessor (DSP) TMS320C32 von Texas Instruments,
4 Digital-Analog- (DAC) AD669 und 4 Analog-Digital-Wandler (ADC) ADS7805,
eine Timer-Einheit, eine digitale Schnittstelle (DIO) mit 8-Bit Eingang und 8-Bit
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