Dokument 1.pdf - RWTH Aachen University
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2 Experimenteller Aufbau<br />
Max. Strom Max. Auflösung Inbetriebnahme<br />
TFE/Wehnelt<br />
Einheit<br />
Anoden-Kappe<br />
Elektronenstrahl<br />
Linse 1<br />
Diff. gepumpte<br />
Apertur des CIV<br />
Quadrupol<br />
der Linse 1<br />
Aperturblende<br />
(EVA)<br />
Quadrupol<br />
der Linse 2<br />
Strahlabschaltungseinheit<br />
Linse 2<br />
Strahlaufnahmeapertur<br />
Deflektor-<br />
Oktupol<br />
Probe<br />
Abbildung 2.8: Schematische Darstellung und drei Arbeitsmodi der Elektronensäule<br />
FEI 2LE.<br />
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