Dokument 1.pdf - RWTH Aachen University

3.1 Fähigkeiten der Kombinationsapparatur
komplett vermeiden.
3.1.5 Navigation der RTM-Tunnelspitzen mittels
REM-Kontrolle
Um die Tunnelspitzen des Multispitzen RTM-Systems kontrolliert zu navigieren verwendet
man ein eingebautes REM. Eine REM-Übersicht der vier Tunnelspitzen kann
man in der Abbildung 3.7(a) sehen. Bei der Navigation der Tunnelspitzen in einer
lateralen Richtung sollte man besonders vorsichtig sein. Eine grobe Verschiebung
der Rasterringe ruft wegen des oben genannten und beschriebenen „slip-stick“ Prinzips
eine mechanische Vibration der sich bewegenden Tunnelspitze hervor. Wenn
die Tunnelspitzen nah genug zusammengeführt sind (ca. 1 µm), werden diese nur
durch eine Ablenkung des Piezoscanner bewegt. Wenn eine Tunnelspitze nicht genug
vorausschauend bewegt wird, kann sie dabei die andere Tunnelspitze versehentlich
berühren. Die Berührung der Tunnelspitzen ruft zumeist ein Verbiegen der Spitzenenden
hervor. Die verbogenen Tunnelspitzen (in der Abbildung 3.7(b)) können dann
nicht weiter eingesetzt werden, weil ein Zusammenführen der verbogenen Tunnelspitzen
wegen der Spitzengeometrie unmöglich ist. Hier ist ein Vorteil der Kombination
eines REM mit einem RTM zu erkennen. Eine defekte Tunnelspitze kann in dieser
Kombination rechtzeitig erkannt und ausgewechselt werden.
In einem einzelnen REM ist die Differenzierung, ob eine Tunnelspitze sich höher
oder tiefer relativ zu den anderen Tunnelspitzen befindet, nicht ohne weiteres möglich.
Beim Einstellen des Fokus der Elektronensäule (Arbeitsspannung der Linse 2)
wird nur eine Fokalebene als scharf dargestellt. Die Objekte, die nicht in der Fokalebene
liegen werden als unscharf dargestellt. Um die Höhenposition der Objekte
in diesem Fall zu unterscheiden, sollte man die Fokuseinstellung verändern, um die
Fokussierungsrichtung bestimmen zu können. Man stellt zuerst einen Fokus der Elektronensäule
auf die Probe scharf. Sodann wird der Fokus derart verändert, bis die
erste Tunnelspitze als scharf erscheint. Diese Tunnelspitze befindet sich dann näher
zur Probe als die andere. Nun verschiebt man die Fokalebene weiter von der Probe
weg. Die nächst höher liegende Tunnelspitze wird als scharf abgebildet, usw. Durch
diese Methode können die Tunnelspitzen übereinander navigiert werden ohne sich
gegenseitig zu berühren.
Während dieser Arbeit wurde ein Versuch mit der verbogener Tunnelspitze unternommen.
Die verbogene Tunnelspitze wurde mit der oben beschriebenen Methode so
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