Dokument 1.pdf - RWTH Aachen University

2.3 Spitzenpräparation
als Spannung für die z-Richtung ausgegeben. Die über den Hochspannungsverstärker
verstärkten Spannungen für die z-Richtung werden direkt oder optional über einen
RC-Filter auf den z-Antrieb angeschlossen. So wird eine Tunnelabstandsregelung
durchgeführt.
Der Probenhalter für Halbleiter-Proben nach dem Design der Firma SPS-CREA-
TEC GmbH (in der Abbildung 3.13) hat 6 elektrische Kontakte auf einer keramischen
Kontaktplatte aus Macor. Die zwei äußeren Kontaktpaare sind für das Probeheizen
gedacht und sind mit der Probe elektrisch verbunden. Das innere Kontaktpaar
ist für ein Thermoelement vorgesehen und ist nicht verdrahtet, da Messungen bei
Raumtemperatur stattfinden. Als Gegenstück der Kontaktplatte dient eine Leiste
mit federnden Kontaktstiften. Diese Leiste befindet sich an der vorderen Seite des
Probenstempels und ist mit der elektrischen Durchführungen am unteren Flansch
der Analysekammer elektrisch verbunden. Sobald ein Probenhalter auf dem Probenstempel
aufgelegt und mit einer Rasternase fixiert wurde, ist die Probe mit der
elektrischen Durchführungen des unteren Flansches verbunden.
2.3 Spitzenpräparation
Für das Multispitzen STM-System braucht man mindestens vier Tunnelspitzen. Diese
werden aus Wolframdraht mittels nasschemischen Ätzen hergestellt. Nach dem
Ätzen werden die Wolframspitzen in die Spitzenhaltern eingesetzt. Die Spitzenhal-
Abbildung 2.18: Fotos der Spitzenparkstation mit 8 draufgesetzten Spitzenhaltern
mit eingebautem Wolframtunnelspitzen und Auffangbehälter für benutzte
Spitzen.
tern werden in die zwei Spitzenparkstationen geparkt. Jeder Spitzenparkstation (s.
55