3-2015
Fachzeitschrift für Elektronik-Produktion
Fachzeitschrift für Elektronik-Produktion
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Zum Einsatz kommen die neuen e²-Gitter<br />
von Jenoptik vor allem bei der Pulskompression<br />
in Femtosekundenlasern für Anwendungen<br />
in den Bereichen Lasermaterialbearbeitung<br />
und Healthcare bei Wellenlängen<br />
von VIS bis NIR. Für Anwendungen<br />
in der Halbleiterindustrie bietet Jenoptik<br />
Halbleiterfertigung<br />
Neue hocheffiziente e²-Pulskompressionsgitter<br />
zudem individuelle, hocheffiziente e2-Gitter<br />
für den UV-Wellenlängenbereich an.<br />
Jenoptik setzt nach eigenen Angaben neue<br />
Maßstäbe mit gemessenen Beugungseffizienzen<br />
von über 98 Prozent bei Liniendichten<br />
ab 1.700 Linien/Millimeter. Durch die<br />
hohen Effizienzen der e²-Gitter verringern<br />
sich die Leistungsverluste im gesamten Laser<br />
um etwa 25 Prozent. Die Zerstörschwelle<br />
von mehr als 300 mJ/cm 2 garantiert eine<br />
hohe Lebensdauer. Kundenindividuelle<br />
Anpassungen der Bauteilgeometrien sind<br />
bis zu 270 Millimetern in einer Dimension<br />
und 200 Millimetern in beiden Dimensionen<br />
möglich. Durch die extremen Liniendichten<br />
von bis zu 3.000 Linien/Millimeter<br />
sind kompaktere Kompressordesigns in<br />
Femtosekundenlasern realisierbar, die eine<br />
deutlich höhere Dispersionskompensation<br />
(Pulskompression) ermöglichen. Eine Verdopplung<br />
der Liniendichte bewirkt eine<br />
Verkürzung des Strahlenganges des Kompressors<br />
um etwa 25 Prozent oder erhöht<br />
die Dispersionskompensation bei gleicher<br />
Länge um das Vierfache.<br />
Die sehr hohe Effizienz von e²-Gittern,<br />
deren Grundlage im Rahmen einer Kooperation<br />
mit dem Fraunhofer-Institut für<br />
Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF)<br />
erarbeitet wurde, und die daraus resultieren<br />
Leistungssteigerungen machen diese<br />
Technologie insbesondere für Hersteller<br />
von Femtosekundenlasern attraktiv.<br />
JENOPTIK Laser GmbH<br />
www.jenoptik.com<br />
Controller für elektrostatische Chucks<br />
Die Berliner Glas Gruppe erweiterte<br />
ihr Leistungsportfolio um Controller für<br />
die Ansteuerung von elektrostatischen<br />
Chucks (ESCs). Durch eine intelligente<br />
elektrische Ansteuerung wird die Clampund<br />
Declamp-Performance der e-Chucks<br />
deutlich verbessert. Der Controller ermöglicht<br />
dem Anwender, den bestmöglichen<br />
Verlauf der Spannung zu ermitteln<br />
und durch eine unterstützende Regelung<br />
exakt einzuhalten. Hierzu werden die notwendigen<br />
Ansteuerungsparameter mit<br />
hoher Genauigkeit und Auflösung erfasst<br />
und können anwendungsspezifisch optimiert<br />
werden. Das Ansteuerungssystem<br />
ermöglicht die Kontrolle von und einen<br />
vollständigen Zugriff auf alle notwendigen<br />
Kenngrößen während der Waferprozessierung.<br />
So kann z.B. während des<br />
Clampens die optimale Haltekraft erzielt<br />
werden. Darüber hinaus wird eine mögliche<br />
Aufladung des Wafers deutlich reduziert,<br />
was zu einer geringeren Partikelbelastung<br />
und zu kürzeren Release-Zeiten<br />
führt. Die Controller sind modular aufgebaut<br />
und können je nach Kundenanforderung<br />
konfektioniert werden. Durch<br />
ein Hochspannungsmodul lassen sich bis<br />
zu acht Elektroden eines e-Chucks unabhängig<br />
voneinander ansteuern. Die Temperaturmessung<br />
und -regelung ist an bis<br />
zu vier Punkten möglich. Die Controller<br />
verfügen über die gängigen CAN-Bus-<br />
oder Ethernet-Schnittstellen und sind über<br />
eine Maschinensteuerung, über einen PC<br />
oder als Standalone-Lösung bedienbar<br />
und für alle Stromnetze gerüstet.<br />
Berliner Glas Gruppe<br />
www.berlinerglas.com<br />
24 3/<strong>2015</strong>
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