Modulhandbuch Studiengang Micro Systems and Nano Technologies

Modulhandbuch - Micro Systems and Nano Technologies (MNT09-MA) - Master of Engineering
1-2. Semester Mikrostrukturierung (MN 03)
Modulnummer: MN 03 Prüfungsnummer: Kurzzeichen:
Lernziele: Die Studierenden haben vertiefte Kenntnisse auf dem Gebiet der
Dünnschichttechnologie, insbesondere von Schichten aus der
Speichertechnologie. Sie können Problemlösungsstrategien für die
Herstellung und Charakterisierung dieser Schichten in der
industriellen Fertigung selbständig entwickeln. Die Studierenden
kennen die theoretischen Grundlagen und die Bedeutung von
elektrochemischen Prozessen zur Herstellung von Mikrotechnik-
Produkten. Sie können elektrochemische Prozesse charakterisieren,
gezielt und sachkundig einsetzen sowie bewerten.
Eingangsvoraussetzungen: Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Schichten
Chemische Grundlagen Grundlagen der chemischen
Mikrofertigungsverfahren (Lithografie, Ätzen, Galvanik)
Anmeldeformalitäten: Anmeldung zu der Klausur gemäß Prüfungsordnung
Prüfungsmodalitäten: Klausur
Prüfungsart:
Teilprüfung:
Prüfungsleistung
Prüfungsform Prüfungsnummer Kommentar Gewichtung
Klausur 3205 Elektrochemische Methoden 0 / 1
Klausur 3204 Spezielle Themen der
Dünnschichttechnik
0 / 1
Umfang: Summe ECTS P.: 5 / Summe SWS: 4
Gesamtprüfung - Anteil: 8,50 %
zugehörige Veranstaltungen: Elektrochemische Methoden 2V/L
Spezielle Themen der Dünnschichttechnik 2V
Modulverantwortlich: Prof. Dr. Peter Pokrowsky
Prof. Dr. Monika Saumer
Veranstaltung Elektrochemische Methoden (MN 03-2)
Veranstaltungsnummer: MN 03-2 Kurzzeichen: Semester: 1 SS
Inhalt: Grundlagen und Anwendungen von elektrochemischen Methoden
zur Herstellung von Mikroprodukten aus verschiedenen Materialien
wie Silizium, Glas, Metalle und Legierungen durch additive und
subtraktive Prozesse ausgehend von den Grundlagen der
Elektrochemie:
- Potentialeinstellung und Nernstgleichung für den
außenstromlosen Zustand
- Elektrodenprozesse und Strom-Potential-Kurven von
ausgewählten Redoxsystemen
- Elektrochemische Nebenreaktionen und deren Bedeutung
- Einfluss von Prozessbedingungen auf Materialeigenschaften
anhand ausgewählter Beispielen
Labor:
Charakterisierung elektrochemischer Prozesse mit Strom-Potential-
Kurven
Herstellung und Charakterisierung von Mikroprodukten aus
Metallen und/oder Legierungen
Studienbehelfe / Literatur: 1) C.H. Hammann, W. Vielstich: Elektrochemie, 3. Auflage 1998,
Wiley VCH Weinheim
2) H.Gerischer, Ch.W.Tobias: Advances in Eelctrochemical
Science and Engineering, Volume 3, VCH Verlagsgesellschaft
mbH, Weinheim/Germany, 1994
3) M. Modou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press,
Washington, 1997
- Pattern Transfer with Additive Techniques (pp.89-125)
- Wet Bulk Micromachining (pp. 145-194)
4) M. Köhler: Ething in Microsystem Technology, Wiley-VCH-
Weinheim, 1999
5) M. Elwenspoek, H. Jansen: SiliconMicromachining, Cambridge
University Press, 1988
6) M. Schlesinger. M. Paunivic: Modern Electroplating, John Wiley
&Sons, New York, 2000
7) N. Kanani, Galvanotechnik, Carl Hanser Verlag, 2000
Labor: Laborskript
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