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Modulhandbuch Studiengang Micro Systems and Nano Technologies

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<strong>Modulh<strong>and</strong>buch</strong> - <strong>Micro</strong> <strong>Systems</strong> <strong>and</strong> <strong>Nano</strong> <strong>Technologies</strong> (MNT09-MA) - Master of Engineering<br />

2. Semester Mikrosysteme: Konzeption, Herstellung und Test (MN 04)<br />

Modulnummer: MN 04 Prüfungsnummer: Kurzzeichen:<br />

Lernziele: 1. Verstehen von sensorischen und aktorischen Wirkprinzipien<br />

2. Vertiefte Kenntnisse spezifische Probleme der Aufbau- und<br />

Verbindungstechnik<br />

3. Schulung des systematisch-analytischen Denkens<br />

4. Selbständige Bearbeitung von Problemlösungsstrategien für die<br />

Entwicklung von Mikrosystemen<br />

5. Förderung der interdisziplinären Forschungs- und<br />

Entwicklungskompetenz zur Analyse komplexer Abhängigkeiten in<br />

miniaturisierten Systemen<br />

6. Interdisziplinäre Projektarbeit<br />

7. Praktische Erfahrung<br />

Eingangsvoraussetzungen: Grundlegende Kenntnisse zur Fertigungsverfahren der<br />

Mikrosystemtechnik.<br />

Anmeldeformalitäten: Die Teilnahme an der Vorlesung zur "Mikrosensorik, Aufbau- und<br />

Verbindungstechnik" µSuA/AVT ist Voraussetzung für die Teilnahme<br />

am Seminar und den Laborveranstaltung: (Die Vorlesung wird in der<br />

ersten Semesterhälfte angeboten) Verbindliche Anmeldung für<br />

Seminar und Laborveranstaltung notwendig; Seminar findet nach<br />

Vereinbarung vor der Laborveranstaltung statt. Laborveranstaltung<br />

wird in der 2. Semesterhälfte angeboten. Unter Umständen besteht<br />

auch die Möglichkeit nach Vereinbarung die Laborveranstaltung im<br />

Laufe des Studienjahres zu absolvieren.<br />

Prüfungsmodalitäten: Prüfungsleistung setzt sich zusammen aus einer Klausur zu der<br />

Vorlesung und den Seminarinhalten sowie einer Hausarbeit zu<br />

speziellen Themen der begleitenden Laborveranstaltung. Die<br />

Zulassung zum Labor erfolgt erst nach erfolgreicher Vorprüfung. Das<br />

Labor wird abgeschlossen durch die Abgabe eines Berichtes sowie<br />

der Hausarbeit.<br />

Prüfungsart: Prüfungsleistung<br />

Prüfungsform: Klausur Mikrosensoren und -aktoren, Aufbau- und<br />

Verbindungstechnik (Vorlesung)<br />

Umfang: Summe ECTS P.: 8 / Summe SWS: 6<br />

Gesamtprüfung - Anteil: 4,50 %<br />

zugehörige Veranstaltungen: Seminar: Konzeption, Herstellung und Test 2S<br />

Labor: Konzeption, Herstellung und Test von Mikrosystemen 2L<br />

Mikrosensoren und -aktoren, Aufbau- und Verbindungstechnik<br />

(Vorlesung) 2V<br />

Modulverantwortlich: Prof. Dr. Antoni Picard<br />

Veranstaltung Seminar: Konzeption, Herstellung und Test (MN 04-2)<br />

Veranstaltungsnummer: MN 04-2 Kurzzeichen: Semester: 2 WS<br />

Seite 17

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