Modulhandbuch Studiengang Micro Systems and Nano Technologies

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Modulhandbuch - Micro Systems and Nano Technologies (MNT09-MA) - Master of Engineering Inhalt: 1. Betrachtung spezifischer Aspekte der Sensorherstellung in Bezug auf Entwurf, Aufbau und Integration. 2. Herausarbeiten des Systemgedankens anhand der Wechselbeziehung zwischen Sensorkonzept, Sensordesign, Fertigung/Aufbautechnik und Signalauswertung sowie der Schnittstellen zwischen verschiedenen Komponenten eines Mikrosystems 3. Analyse und Strukturierung von Systemen, insbesondere Techniken der Systemanalyse und Systementwicklung wie Bottom- Up, Top-Down, Prototypen-Entwicklung 4. Planungsmethoden (Dokumentation der Konzeption und Beschreibung der geplanten Funktion in einer Leistungsbeschreibung, 5. Fortschreibung des Entwicklungsprozesses mit Fertigungs- und Prüfunterlagen einschließlich der Werksprüfung, der Realisierungsdokumente und der Wartungshandbücher, Terminund Kostenüberwachung über eine strukturierte, komponentenorientierte Vorhabensbeschreibung) 6. Definition und Auswahl technischer Komponenten unter dem Gesichtspunkt der Funktion; Analyse der Ressourcen und Verfahren zur Herstellung und Rückwirkungen auf die Auswahl der Komponenten Vorlesung &Seminar: - Der Charakter der Veranstaltung erfordert eine aktive Beteiligung der Studierenden und intensive Vor- und Nachbereitung der Präsenzveranstaltung. Der zusätzliche Arbeitsaufwand wird mit mindestens 2 SWS abgeschätzt. Studienbehelfe / Literatur: 1. M. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Washington, 1997: 2. G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, München; Wien, Hanser-Verlag, 1997, 3. W. Menz, J. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH Verlagsgesellschaft, Weinheim, 1997. 4. Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen ; mit 21 Tabellen / von Ulrich Mescheder - 2000 5. Schaumburg, Hanno: Sensoren; 1992 6. Ljubisa Ristic: Sensor technology and devices, Boston, MA, Artech House, 1994 7. Hans-Rolf Tränkler (Hrsg.)Sensortechnik, Berlin, Springer, 1998 Lehrsprache: Präsenzzeit: 23 Stunden Präsenzzeit Umfang: ECTS P.: 4 / SWS: 2S Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Antoni Picard Veranstaltung Labor: Konzeption, Herstellung und Test von Mikrosystemen (MN 04-3) Veranstaltungsnummer: MN 04-3 Kurzzeichen: Semester: 2 WS Inhalt: Aufbauend auf zughöriger Vorlesung und Seminar wird die Herstellung einer mikrotechnischen Sensors oder Aktors praktisch umgesetzt. 1. Selbständiges Erarbeiten bzw. Recherchieren von Detailkenntnissen, 2. Gemeinsame Planung des Gesamtsystems in Gruppenarbeit; Prozessablauf, Ressourcen- und Personalplanung in Arbeitsteilung: 3. Realisierung und Charakterisierung eines einfachen Sensorsystems (alt. Aktorsystem) 4. Konzeption und Aufbau einer Signalauswertung 5. Erstellen von Fertigungs- und Prüfunterlagen einschließlich Test und Charakterisierung (Datenblatt). 6. Termin- und Kostenüberwachung 7. Aufbereitung und Präsentation (Vortrag, Ausarbeitung) Präsenzzeit: 23 Stunden Präsenzzeit - Als zeitlichen Arbeitsaufwand zusätzlich zu der Laborveranstaltung sollte - abhängig von den Vorkenntnissen - mindestens 3 SWS eingeplant werden. Der zusätzliche Arbeitsaufwand beinhaltet insbesondere die Punkte: (A) Selbständiges Erarbeiten bzw. Recherchieren Seite 18
Modulhandbuch - Micro Systems and Nano Technologies (MNT09-MA) - Master of Engineering Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2L Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Antoni Picard Veranstaltung Mikrosensoren und -aktoren, Aufbau- und Verbindungstechnik (Vorlesung) (MN 04-1) Veranstaltungsnummer: MN 04-1 Kurzzeichen: µS&A/AVT Semester: 2 WS Inhalt: 1. Betrachtung allgemeiner sensorischer und aktorischer Wirkprinzipien 2. Einführung in MST-spezifische Probleme der Aufbau- und Verbindungstechnik 3. Exemplarische Betrachtung spezieller mikromechanischer Sensoren und Aktoren und deren Anwendungen sowie der zugehörigen Fertigungstechniken insbesondere der Aufbau- und Verbindungstechnik Studienbehelfe / Literatur: 1. M. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Washington, 1997: 2. Chang Liu: Foundations of MEMS, Prentice Hall, 2006 3. M. Elwenspoek; R. Wiegerink: Mechanical Sensors, Springer, Heidelberg, 2001, 4. Friedemann Völklein ; Thomas Zetterer: Einführung in die Mikrosystemtechnik, Vieweg, 2000 5. Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen ; mit 21 Tabellen / von Ulrich Mescheder - 2000 6. Schaumburg, Hanno: Sensoren; 1992 7. Ljubisa Ristic: Sensor technology and devices, Boston, MA, Artech House, 1994 8. Hans-Rolf Tränkler (Hrsg.)Sensortechnik, Berlin, Springer, 1998 9. Diverse aktuelle Publikationen, Firmenschriften und Patente Lehrsprache: Deutsch / Englisch Arbeitsaufwand: Vor- und Nachbereitung erforderlich Präsenzzeit: 23 Stunden Präsenzzeit Sonstiges: Vorlesung wird zu Anfang des Semesters angeboten und wird für die Zulassung zum Labor vorausgesetzt. Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2V Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Antoni Picard Seite 19
Seite 1 und 2: Modulhandbuch Studiengang Micro Sys
Seite 3 und 4: Modulhandbuch - Micro Systems and N
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