Modulhandbuch Mechatronik/Sensortechnik Bachelor Mechatronik ...

Arbeitsaufwand:
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfaßt bei 15 Semesterwochen 45 Stunden. Der Gesamtumfang des
Moduls beträgt bei 4 Creditpoints 120 Stunden. Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der
Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 75 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen:
Keine.
Als Vorkenntnis erforderlich für Module:
Fachverantwortung:
Prof. Dr. Günter Schultes
Dozent: Prof. Dr. Günter Schultes
Lernziele/Kompetenzen:
Es werden die Potenziale der mikrotechnologischen Fertigungsweisen dargestellt. Die Studierenden
lernen die Voraussetzungen, Bedingungen und Möglichkeiten der Mikrotechnik kennen. Die für
diesen Bereich wichtigsten Schlüsseltechnologien werden erarbeitet.
[letzte Änderung 24.05.2007]
Inhalt:
1. Einleitung und Abgrenzung der Mikrotechnologien
2. Werkstoffe und Substratherstellung
3. Vakuumtechnik; Notwendigkeit, Kenngrößen, Erzeugung, Messung
4. Schichttechnologien
4.1 Dünnschichtverfahren mittels PVD und CVD
4.2 Thermische Oxidation
4.3 Dickschichtverfahren
5. Strukturierungsverfahren
6. Mikromechanik und Mikrosystemtechnik
7. Abformtechnik und Galvanik, LIGA-Technik
8. Mess- und Analyseverfahren der Mikrotechniken
9. Notwendige Infrastruktur und Investitionen sowie Dienstleisterpotentiale
[letzte Änderung 24.05.2007]
Literatur:
- Grundlagen der Vakuumtechnik, Fa. Leybold Köln Eigenverlag, 1997
- F. Völkllein, T. Zetterer; Einführung in die Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag
- W. Menz, J. Mohr, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Wiley-VCH 1997
- G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag 1997
- U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag 2000
- W.-J. Fischer, Mikrosystemtechnik, Vogel Fachbuch, 2000
- Beschichten mit Hartstoffen, VDI-Verlag 1992
- W. Krause, Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik, C. Hanser Verlag 1995
- H. Schaumburg, Werkstoffe, Teubner Verlag 1990
- H.Eigler, W.Beyer, Moderne Produktionsprozesse der Elektrotechnik, Elektronik und
Mikrosystemtechnik, Expert Verlag 1996
- M. Madou, Fundamentals of Micorfabrication, CRC-Press, 1997
- Mohamed Gad-el-Hak, The MEMS Handbook, CRC Press, 2002
[letzte Änderung 24.05.2007]