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Schaltung. Aufgrund der begrenzten Fläche kann <strong>die</strong><br />
Kapazität nicht beliebig groß gewählt werden. In <strong>die</strong>sem<br />
Fall wurde <strong>ein</strong>e Kapazität von 730 fF gewählt.<br />
Der maximal messbare Strom ist somit durch <strong>die</strong><br />
minimale Integrationszeit begrenzt. Nimmt man <strong>die</strong>se<br />
mit<br />
t<br />
int, min<br />
= 1,<br />
0 μs<br />
an, ergibt sich mit <strong>ein</strong>er Ausgangsamplitude von 2,5 V<br />
folgender Maximalstrom:<br />
I<br />
max<br />
= t<br />
U<br />
C<br />
⋅ C<br />
V ⋅ 730 fF<br />
int, min<br />
1 μs<br />
Neben dem Operationsverstärker werden für den Betrieb<br />
der Messschaltung zusätzliche Schaltungsgruppen<br />
benötigt, siehe Abbildung 6 und 7.<br />
Die Eingangsstufe <strong>die</strong>nt dazu, <strong>die</strong> Messung zu starten<br />
bzw. zu beenden. Hierzu wird der Strom von der<br />
Gold-Elektrode (Au) über den Transistor M6 geführt,<br />
der von <strong>ein</strong>em Steuersignal entsprechend durchgeschaltet<br />
oder gesperrt werden kann. Da beim An- oder<br />
Abschalten der Messung der Spannungssprung der<br />
Steuerleitung über <strong>die</strong> Kapazitäten im Transistor<br />
(CGD) auf <strong>die</strong> Messleitung überkoppelt, wird zur<br />
Kompensation <strong>ein</strong> gleichartiger Transistor (M7) an <strong>die</strong><br />
Messleitung angeschlossen und mit dem invertierten<br />
Steuersignal angesteuert; der Drain-Anschluss des<br />
Transistors bleibt floatend. Bei entsprechender Ansteuerung<br />
kann <strong>die</strong>ser Transistor auch für <strong>ein</strong>e Referenzmessung<br />
genutzt werden, um ggf. unerwünschte<br />
Licht<strong>ein</strong>flüsse zu ermitteln und von der eigentlichen<br />
Messung zu subtra<strong>hier</strong>en.<br />
Um <strong>die</strong> Störung des Messsignals so kl<strong>ein</strong> wie möglich<br />
zu halten, wurden <strong>die</strong> Transistoren (und damit <strong>die</strong><br />
parasitären Kapazitäten) ebenfalls kl<strong>ein</strong> gehalten.<br />
Über den Transistor M14 kann <strong>ein</strong> Kalibrierungsstrom<br />
auf <strong>die</strong> Goldelektrode und anschließend in <strong>die</strong><br />
Messzelle geleitet werden, um <strong>die</strong> genaue Charakteristik<br />
der Zelle zu ermitteln. Gleichzeitig kann so überprüft<br />
werden, ob <strong>die</strong> Goldelektrode richtig kontaktiert<br />
ist. Außerdem ist <strong>ein</strong> Transistor (M5) vorhanden, über<br />
den <strong>die</strong> Integrationskapazität vor dem Beginn <strong>ein</strong>er<br />
Messung entladen werden kann, um <strong>ein</strong>e definierte<br />
Ausgangsbedingung zu erzeugen. Die Anordnung der<br />
Messzellen in <strong>ein</strong>em Array erfordert <strong>ein</strong>e gem<strong>ein</strong>same<br />
Datenleitung für <strong>ein</strong>e Spalte des Arrays. Um <strong>die</strong> <strong>ein</strong>zelnen<br />
Messzellen nach<strong>ein</strong>ander auf <strong>die</strong> Leitung zu<br />
schalten, wird <strong>ein</strong> Transmission Gate [15] zwischen<br />
dem Ausgang des Operationsverstärkers und der Spaltenleitung<br />
<strong>ein</strong>gesetzt Abbildung 7). Da <strong>ein</strong> Transmission<br />
Gate sowohl mit <strong>ein</strong>em invertierten und nichtin-<br />
12<br />
ENTWICKLUNG EINER CMOS PIXELZELLE ZUR<br />
CHARAKTERISIERUNG VON PEPTID-BASIERTEN FOTODIODEN<br />
Abbildung 8: Ablauf <strong>ein</strong>es Messzyklusses.<br />
vertierten Steuersignal angesteuert werden muss,<br />
kommt <strong>hier</strong> ebenfalls der oben beschriebene Inverter<br />
zum Einsatz. Auch <strong>hier</strong> wurden <strong>die</strong> Transistoren möglichst<br />
kl<strong>ein</strong> gehalten, um <strong>die</strong> Lastkapazität für <strong>die</strong><br />
Messschaltung zu verringern. Dies ist <strong>hier</strong> umso wichtiger,<br />
da <strong>die</strong> Kapazitäten auch bei abgeschaltetem<br />
Transmission Gate auf <strong>die</strong> Datenleitung wirken.<br />
B. Ablauf <strong>ein</strong>er Messung<br />
Zuerst wird <strong>die</strong> Integrationskapazität entladen (Reset),<br />
danach sofort <strong>die</strong> Messung gestartet (Meas). An<br />
der Spannung V(C_int) kann man sehen, wie sich <strong>die</strong><br />
Spannung über der Integrationskapazität aufbaut. Die<br />
Spannung am Eingang (Au_In) wird dabei für <strong>die</strong><br />
Dauer der Messung auf Höhe der Referenzspannung<br />
gehalten. Nach Beendigung der Messung bleibt <strong>die</strong><br />
auf dem Kondensator gespeicherte Spannung erhalten.<br />
Soll das Ergebnis nun ausgelesen werden, wird, ausgelöst<br />
durch das (Select)-Signal, <strong>die</strong> Spannung über das<br />
Transmission Gate auf <strong>die</strong> Datenleitung übertragen<br />
(Out), von wo aus sie <strong>ein</strong>em AD-Wandler zugeführt<br />
werden kann. Die Dauer der Übertragung der Spannung<br />
auf <strong>die</strong> Datenleitung (Wartezeit, bis <strong>die</strong> Spannung<br />
nach Anlegen des Select-Signals ausgelesen<br />
werden kann) variiert; sie ist abhängig insbesondere<br />
von der Ausgangskapazität (Transmission Gates und<br />
Datenleitung) sowie von der vorhergehenden Spannung<br />
der Datenleitung, und dem Strom, der über den<br />
Operationsverstärker abfließen bzw. von <strong>die</strong>sem aufgebracht<br />
werden kann. Nach dem Abschalten des<br />
Transmission Gates kann <strong>die</strong> nächste Zelle in der<br />
Spalte ausgelesen werden.