Untitled - KRRI 전자도서관
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그림 60. XPS analysis - depth profile<br />
그림 61과 62에 AFM 분석 결과 텅스텐 함량이 증가함에 따라서 W-C 박막의 surface<br />
roughness 값이 감소하는 결과를 나타내었다.<br />
FFM mode로 마찰계수를 측정한 결과 그림 63과 같이 텅스텐 함량이 증가함에 따라<br />
마찰계수도 같이 증가하는 경향을 나타내었다.<br />
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