Untitled - KRRI 전자도서관

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(a) (b) Target Carbon(C)+Metal Metal=W,Mo,Cr,N i - 76 - Target Carbon(C)+Metal Metal=W Substrate Si wafer Substrate Si wafer T-S distance (cm) 9 T-S distance (cm) 9 RF power (W) Carbon:150, Metal:40 RF power (W) Carbon:150, Metal:20~50 Ar gas (sccm) 40 Ar gas (sccm) 40 Rotation (rpm) 28.3 Rotation (rpm) 28.3 Based pressure (Torr) Working pressure (Torr) Film Thickness (nm) 표 17. 나노금속이 포한된 탄소레이어 증착공정변수 1x10 -5 10 m 100 Based pressure (Torr) Working pressure (Torr) Film Thickness (nm) 2. 나노 입자의 크기와 밀도에 따른 탄소레이어 특성 기초 연구 가. 나노금속의 크기에 따른 탄소레이어의 특성분석 1x10 -5 10 m 100 nm 두께로 증착된 나노금속이 함유된 탄소레이어의 미세이미지를 확인하기 위해 FE-SEM 분석장비로 단면/표면 분석을 실시하였다. 그림 47에 (d) Ni-C의 표면 입자가 상대적으로 다른 물질에 비해 적은 것으로 확인되었다. 제작한 시편의 탄소레이어에 함유된 나노금속의 성분량을 측정하기 위해 EDS 분석을 실시하였으며 같은 공정으로 증착하였으나 그림 50과 같이 각 물질별로 성분량이 다르며 100
(d) Ni-C의 성분량이 상대적으로 많이 검출되었다. 그림 49. 금속 종류에 따른 SEM Image 단면/표면 (a) Mo-C, (b) Cr-C, (c) W-C, (d) Ni-C - 77 -
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보안과제( ), 일반과제( ○
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과제고유번호 2010-001 8158
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한 집전판 성능 검증 기술
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Ⅲ. Contents The contents of this
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목 차 제1장 연구개발과제
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표 차 례 표 1. 국내외 주요
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그림 66. Nanoindenter - Hardness
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전을 포함한 철도와 신기
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가치를 창출하는 미래 유
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나노신소재 기술은 임계성
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제 2절 연구 개발결과의 활
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그림 8. 철도 분야의 NT기술
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제 2절 팬터그래프 집전판
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그림 11. 팬터그래프의 기
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다. 팬터그래프 집전판 일
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정 격 전 류 정 차 시 연속
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Page 44 and 45: 2002-180105 6 일본공개특허 20
Page 46 and 47: 현용 집전판 재료의 내마
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Page 59 and 60: 가지의 페놀알코올의 혼합
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Page 103 and 104: 그림 61 AFM analysis 그림 62 AF
Page 105 and 106: 텅스텐 함량에 따른 W-C 박
Page 107 and 108: 3. 실용화를 위한 금속입자
Page 109 and 110: 그림 67. 나노기술 이용 철
Page 112 and 113: 제 5절 결론 나노융합기술
Page 114 and 115: 사항이 있었다. 이를 위해
Page 116 and 117: 된다. 또한, carbon 소재를
Page 118 and 119: 그림 70. 팬터그래프 나노
Page 120 and 121: 그림 71. 연구 주요 실적 및
Page 122 and 123: ◦ 본 연구과제는 원천 기
Page 125 and 126: 종 류 기술 요약 미국공개
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Page 132: 주 의 1. 이 보고서는 교육
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