Untitled - KRRI 전자도서관
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텅스텐 함량에 따른 W-C 박막의 특성분석을 수행한 결과 텅스텐 함량이 증가함에 따<br />
라 표면 마찰계수는 증가하나 박막의 adhesion과 hardness가 증가하는 경향을 나타내었<br />
다.<br />
그림 64. Scratch test- adhesion<br />
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