Untitled - KRRI 전자도서관

각 박막의 경도의 세기의 결과에서는 그림 57에 나타난 바와 같이 Ni-C 박막이 가장
높은 것으로 나오나 SEM Image와 EDS, XPS 분석결과에서 나타내듯이 Ni 금속의 많은
함량으로 인해 금속에 가까운 박막이 형성된 것으로 보아 경도가 가장 높은 것으로 추측
된다. W-C 박막 또한 상대적으로 큰 경도를 나타내는 것을 알 수 있다.
함유된 나노금속의 종류에 따른 탄소레이어 박막의 특성 분석 결과 Hardness는 Ni-C
박막이 우수하였지만 전반적으로 W-C 박막의 경우 가장 우수한 기계적인 특성을 나타
내었다. 이러한 결과를 바탕으로 텅스텐 함량에 따른 W-C 박막의 특성분석을 수행하였
다.
Hardness (GPa)
22
20
18
16
14
12
Mo-C Cr-C Ni-C W-C
그림 57. Nanoindenter - Hardness
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