2-2022

Halbleiterfertigung
Aufbau neuer Halbleiterfabriken
Hilscher Gesellschaft für
Systemautomation mbH
info@hilscher.com
www.hilscher.com
Die Zukunftsaussichten für die Halbleiterindustrie
sind mit einem prognostizierten Wachstum von ca. 9%
für das Jahr 2022 durchaus positiv. Jedoch kommt es
u.a. durch die Auswirkungen der anhaltenden Corona-
Pandemie in der Branche immer wieder zu Lieferengpässen.
Durch die Entwicklung des neuartigen comX
Kommunikationsmoduls speziell für die Halbleiterindustrie,
unterstützt Hilscher diese nun bei der Bewältigung
der aktuellen Situation.
Kommunikationsmodule von Hilscher werden seit
über 25 Jahren in der industriellen Automation von
einer Vielzahl erfolgreicher Unternehmen eingesetzt.
Ihre Fähigkeit, alle führenden Realtime-Ethernet-Protokolle
als Master oder Slave in exakt einem Design zu
unterstützen, findet bei Herstellern von Automatisierungsgeräten,
wie z.B. Robotersteuerungen, SPSen
oder Antrieben viel Anklang.
In der Halbleiterfertigung hat sich EtherCAT als
Kommunikationsprotokoll durchgesetzt. Gerätehersteller,
die ihre Produkte im Halbleitermarkt verkaufen
möchten, kommen somit auch an dem EtherCAT
Standard ETG.5003 Semiconductor Device Profile
nicht mehr vorbei.
Das comX 51CA-RE\R basiert auf dem klassischen
und im Markt etablierten comX 51 Design. Mit dem
Zusatz von physischen Adress-Drehcodierschaltern
kann die Explicite Device ID gemäß Common Device
Profil (CDP, ETG.5003-1) eingestellt werden. Das
Zusammenspiel von selbstentwickelter Hard- und
Software von Hilscher ermöglicht es den Anwendern,
ein Gerät nach dem CDP zu entwickeln, welches die
Basis für die Geräteentwicklung gemäß SDP (Specific
Device Profile, ETG.5003-2xxx) darstellt.
Schnell reagieren ist in Zeiten der Krise essenziell.
Hilscher reagiert mit dem COMX 51CA-
RE\R auf den Bedarf, bereits vorhandene Produktionsstätten
auszubauen sowie neue Kapazitäten
in der Halbleiterfertigung zu schaffen. Hersteller
von Fertigungsmaschinen können bei Hilscher
auf die langjährige Erfahrungen mit Ether-
CAT, aber auch auf die Zuverlässigkeit des comX
Moduls vertrauen. ◄
Analyse von Spurenverunreinigungen
Der kompakte Gas-Chromatograph MultiDetek3
von Process Sensing Technologies
(PST) kombiniert die Funktionalität
von zwei Geräten in einem – das ermöglicht
eine enorme Kosteneinsparung. Die
modulare Lösung zur vollständigen Analyse
von Spurenverunreinigungen in Prozessen
bietet dem Anwender sowohl die
gleichzeitige Überwachung unterschiedlicher
Spurengase als auch die Bestimmung
von Feuchtigkeit und Sauerstoff.
Die neue Entwicklung mit robustem
6U-Rackmount-Gehäuse ist für das Labor
und die industrielle Installation ausgelegt.
Typische Anwendungen sind die Überprüfung
der Qualität von UHP- und Spezialgasen in
der Halbleiter- und Elektronikfertigung sowie
in ASU-Produktionsanlagen.
Im Energiesektor eignet sich die neue Entwicklung
für die Überwachung der Reinheit von
Wasserstoff und Schwefelhexafluorid (SF6).
Weitere Anwendungen sind die UHP-CO 2 -
Analyse in der Lebensmittelproduktion und
die Gasanalyse in Weinkellereien.
Der Gas-Chromatograph MultiDetek3 kann
mit FID/PED- oder TCD-Detektoren für Online-
Spurenverunreinigungsmessungen konfiguriert
werden und ist temperaturgesteuert, um
zusätzliche Stabilität zu gewährleisten. Dank
der beiden Probeneinlässe lassen sich zwei
Gasströme parallel analysieren – er bietet
also die gleiche Funktionalität wie zwei separate
Geräte.
Der PED-Sensor detektiert u.a. Permanentund
Edelgase, Schwefel, Ammoniak, Kohlenwasserstoffe,
Aldehyde, BTEX-Verbindungen
und Alkohole bis hin zu 100 ppt. Der Flammenionisations-Detektor
(FID) dient zum
Nachweis von Kohlenwasserstoffspuren
mit einer Nachweisgrenze (LDL) von 1 ppb,
während der Wärmeleitfähigkeits-Detektor
(TCD) für die Analyse von binären Gaskombinationen
bis hin zu 1 ppm für das Zielgas
ausgelegt ist.
Darüber hinaus hat der Nutzer die Möglichkeit,
spezielle Sensoren für Sauerstoffund
Feuchtigkeitsspuren einzubauen. Für
Sauerstoff sind dies elektrochemische oder
Zirkoniumdioxid-Sensoren, für die Messungen
der Feuchtigkeit stehen Quarzkristall-Mikrowaagen
oder keramische Metalloxid-Feuchtesensoren
zur Verfügung.
Das MultiDetek3 verfügt über eine große, farbige
Touchscreen-Oberfläche für eine einfache
Bedienung und ermöglicht dank der LDChroma+
Software eine umfassende Berichterstattung.
Michell Instruments GmbH
www.michell.de
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