Oxidation von Eisenschichten auf MgO(001)-Substraten - Universität ...
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2.1 Photoelektronenspektroskopie 2. Theoretische Grundlagen<br />
• Die natürliche Linienbreite der Röntgenquelle ∆Ep: Sie wird mit steigender Ordnungszahl<br />
Z des Anodenmaterials größer. Al-Kα und Mg-Kα zeichen sich durch ihre geringe<br />
natürliche Lineinbreite aus. Sie sind deshalb die wichtigsten Röntgenquellen für die<br />
XPS. Die Linienbreite beträgt für Al-Kα 0,9 eV und für Mg-Kα 0,8 eV.<br />
• Die natürliche Linienbreite der untersuchten Energieniveaus ∆En: Diese ist abhängig<br />
<strong>von</strong> der Lebensdauer des Endzustands und wird beschrieben durch die Heisenbergsche<br />
Unschärferelation ∆E ≥ h/2π∆t. Die Lebensdauer der Elektronenlöcher verringert<br />
sich durch die Zunahme der Bindungsenergie und wird bei kernnahen Orbitalen<br />
hauptsächlich durch die Auger-Übergangsrate bestimmt. Die natürliche Linienbreite<br />
liegt meistens im Bereich <strong>von</strong> einigen zehntel eV und wird durch Phononenanregung<br />
zusätzlich verbreitert.<br />
• Das Auflösungsvermögen des Analysators ∆Ed: Der Analysator kann die kinetische<br />
Energie der detektierten Elektronen nur begrenzt genau bestimmen.<br />
Diese Beiträge sind linear unabhängig und ergeben die Gesamtlinienbreite mit<br />
∆E =<br />
�<br />
∆E 2 p + ∆E 2 n + ∆E 2 d<br />
2.1.2 Streuprozesse der Photoelektronen<br />
[14]. (2.10)<br />
Nachdem ein Photoelektron angeregt wurde, besitzt es eine definierte kinetische Energie. Mit<br />
dieser Energie bewegt sich das Elektron durch den Festkörper. Bei der Bewegung durch den<br />
Festkörper kann das Photoelektron an anderen Elektronen, Fehlstellen, oder Atomkernen<br />
gestreut werden. Die Häufigkeit mit der das Elektron im Festkörper wechselwirkt ist dabei<br />
abhängig <strong>von</strong> der mittleren freien Weglänge λ des Elektrons. Das Elektron kann durch die<br />
Wechselwirkung Energie verlieren und so inelastisch gestreut werden. Es kann aber auch<br />
durch die Potentiale der einzelnen Atomkerne angezogen und so <strong>von</strong> seiner ursprünglichen<br />
Bahn abgelenkt werden. Durch diese attraktive Wechselwirkung, wird das Elektron elastisch<br />
gestreut. Womit die Elektronen bei der Bewegung durch den Festkörper in Wechselwirkung<br />
treten, ist abhängig <strong>von</strong> ihrer kinetischen Energie. Besitzen sie eine kleine kinetische Energie,<br />
wechselwirken sie hauptsächlich mit den Atomkernen, haben sie eine große kinetische Energie,<br />
finden Wechselwirkungen mit den Elektronen statt.<br />
2.1.2.1 Inelastische Streuung<br />
Die Eindringtiefe der Röntgenstrahlung in einen Festkörper liegt bei einigen µm. Es werden<br />
also auch Elektronen in dieser Tiefe angeregt. Die angeregten Elektronen müssen jedoch noch<br />
den Festkörper verlassen, um detektiert zu werden. Sie verlieren durch die inelastische Streuung<br />
bei der Bewegung durch den Festkörper Energie. Der Energieverlust durch Stoßprozesse<br />
wird für Elektronen aus tieferen Ebenen zunehmend größer. Die verursachten Energieverluste<br />
können dazu führen, dass die Elektronen das Vakuum gar nicht oder nur mit stark verringerter<br />
kinetischer Energie erreichen. Deshalb können nur die Elektronen der obersten Atomlagen<br />
verlustfrei und mit voller kinetischer Energie den Detektor erreichen. In Abbildung 2.5 ist<br />
die mittlere frei Weglänge der Elektronen in einzelnen Materialien in Abhängigkeit <strong>von</strong> ihrer<br />
kinetischen Energie graphisch dargestellt.<br />
Die Anzahl der Elektronen, welche die Oberfläche der Probe ohne Energieverlust erreichen,<br />
z<br />
− kann mit dem exponentiellen Verhalten e λ beschrieben werden. Diese Elektronen bilden das<br />
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