Oxidation von Eisenschichten auf MgO(001)-Substraten - Universität ...

4 Experimentelle Grundlagen
4.1 Veruschsaufbauten
4.1.1 Ultrahochvakuumkammer
Die Präparation der Proben und die an den Proben durchgeführten XPS- und LEED-Untersuchungen
werden in einer Ultrahochvakuumkammer (UHV-Kammer) durchgeführt. Es
muss im Ultrahochvakuum (UHV) gearbeitet werden, um die mittlere freie Weglänge von
Elektronen zu erhöhen und um reine wohldefinierte Oberflächen zu erhalten. Die mittlere
freie Weglänge ist erst ab Drücken < 10 −3 mbar größer als 10 cm. Eine reine Oberfläche ist
bei einem Druck von 10 −6 mbar nach wenigen Sekunden wieder mit adsorbierten Gasteilchen
bedeckt. Der Aufbau der Kammer ist in Abbildung 4.1 zu sehen. Die Ultrahochvakuumkam-
Abbildung 4.1: Aufbau der Ultrahochvakuumkammer. Sie ist aus vier einzelnen Kammern
zusammengesetzt, die durch Ventile voneinander getrennt sind. Die Proben können
durch ein Transfersystem von einer Kammer in die nächste befördert werden. Entnommen
aus [11]
mer besteht aus insgesamt vier einzelnen Kammern, die über ein Transfersystem miteinander
verbunden sind. Die erste Kammer ist die Schleuse (I). Über diese Kammer werden die Substrate
in die UHV-Kammer eingeschleust und die fertigen Proben ausgeschleust.
In der Präparationskammer (II) werden die Substrate gereinigt und die Eisen- und Eisenoxidschichten
hergestellt. Die Kammer verfügt dazu über einen Eisenverdampfer und ein
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