Oxidation von Eisenschichten auf MgO(001)-Substraten - Universität ...

5.2 Oxidierte Eisenschichten 5. Experimentelle Ergebnisse
5.2.2 Oxidation bei 373 K
Die Oxidation bei dieser Eisenschicht wurde bei 373 K durchführt. Dazu wurde zunächst
eine 5000 Hz dicke Eisenschicht mit einer Aufdampfrate von 5 Hz/s bei RT hergestellt und
mit XPS und LEED untersucht. Das LEED-Beugungsbild rechts in Abbildung 5.12 zeigt die
(1 × 1)-Struktur der Eisenoberfläche. Zum Vergleich ist rechts in der Abbildung die (1 ×
1)-Struktur des Substrats zu sehen. Die Eisenschicht wurde fünfmal eine Stunde lang bei 373
K einem Sauerstoffpartialdruck von 1 cdot 10 −6 mbar ausgesetzt. Nach jedem Schritt wurde
die Probe mit einer Rate von R ≈ 5 K/min abgekühlt und eine LEED und eine XPS-Messung
durchgeführt.
Abbildung 5.12: Links: Beugungsbild der (001)-Oberfläche eines MgO-Substrats. Es ist
wie theoretisch gefordert eine (1 × 1)-Struktur zu sehen. Rechts: Beugungsbild der (001)-
Oberfläche einer 5000 Hz dicken Eisenschicht. Es ist wie theoretisch gefordert eine um
45 ◦ zum Substrat verdrehte (1 × 1)-Struktur von Eisen zu sehen. Die Elektronenenergie
beträgt bei beiden Bildern 170 eV.
Die XPS-Spektren des Fe 3p-Peaks sind in Abbildung 5.13 zu sehen. Die Schritte sind wieder
von a nach f nach Behandlungsschritten sortiert. Spektrum a zeigt den Fe 3p-Peak der
reinen 5 kHz dicken Eisenschicht. Es ist zu erkennen ist, dass kein Mg 2p-Signal bei EB ≈
49 eV vorliegt. Der Fe 3p-Peak wurde mit drei Funktionen rekonstruiert. Die magentafarbene
Funktion entspricht dem Fe 0 -Anteil, die hellblaue Funktion dem Fe 2+ -Anteil und die
rote Funktion dem Fe 3+ -Anteil. Die Summe der Funktionen wird durch die braune Kurve
wiedergegeben und ist mit den experimentellen Daten nahezu identisch. Die Konzentrationsverhältnisse
der bei 373 K oxidierten Eisenschicht sind in Abbildung 5.14 in Abhängigkeit
der durchgeführten Behandlungsschritte graphisch dargestellt. Der aus Spektrum a bestimmte
Fe 0 -Anteil liegt bei 97 %. Die restlichen 3 % sind Fe 3+ -Ionen. Nach der ersten Behandlung
mit Sauerstoff bei 373 K sinkt der Anteil an Fe 0 auf 35%. Der Anteil an Fe 2+ -Ionen steigt
von 0 % auf 35 % und der Fe 3+ -Anteil von 3 % auf 27 %. Während der nächsten vier Behandlungen
mit Sauerstoff sinkt der Fe 0 -Anteil auf 15 % und der Fe 2+ -Anteil steigt auf 56 %.
Der Anteil an Fe 3+ -Ionen bleibt relativ konstant und schwankt zwischen 26 und 31 %. Nach
keinem der fünf Behandlungsschritte mit Sauerstoff ist ein Mg 2+ -Signal zu erkennen.
Der Sauerstoffanteil in der Probe wurde mit Hilfe des O 1s-Peaks bestimmt. Die hergestellte
Eisenschicht enthält etwa 8 % Sauerstoff. Nach dem ersten Oxidationsschritt liegt der
Sauerstoffanteil bei 64 % und nach dem letzten nahezu unverändert bei 66 %.
Auch bei dieser Probe wurde zum Vergleich die Konzentrationsverhältnisse von Fe 0 , Fe 2+
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