Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Resine dicromato-polivinilalcol • Vantaggi • Disponibilità dei polimeri usati • Svantaggi • Variabilità da lotto a lotto della composizione dei materiali reticolabili • Tendenza all’invecchiamento della composizione sia pristina che su film • Bassa stabilità di processo (temperatura, umidità,…) • Bassa sensibilità (elevati tempi di esposizione) • Uso di Cr 6+ 10 Pho.B.O.S.
Resine a base di poli(vinil)cinnammato * O * n O hv ciclodimerizzazione fotoindotta * O * n O solubile O * * n Insolubile – resist negativo KPR – brevetto Eastman Kodak 1953 11 Assorbimento cinnammati 290 nm Emissione lampade Hg > 350 nm CH 3 N S O fotosensibilizzatori Pho.B.O.S.
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