Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Limiti delle resine novolacca DNQ Proprietà ottiche λ exp = 248 nm λ exp = 365 nm λ exp = 248 nm 21 La fotolisi graduale del DDQ non aumenta la trasparenza alla λ di esposizione – sviluppo incompleto e perdita di risoluzione Pho.B.O.S.
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