Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Sintesi e proprietà delle novolacche (resine cresolo – formal<strong>dei</strong>de) 18 - sistema complesso - ramificazione - ossidazione (additivi) - gelazione (solubilità) - sensibilità al protocollo - molto studiato - sono l’attuale standard in microelettronica Pho.B.O.S.
Limiti delle resine novolacca DNQ Tecniche litografiche standard – lampade a mercurio (λ max > 350 nm) Limite nella risoluzione Tecniche di sviluppo moderne – (KrF eccimeri) 248 nm Le resine novolacca-DNQ sono incompatibili: - proprietà ottiche - bassa sensibilità (necessari inibitori 10 volte più sensibili) 19 Pho.B.O.S.
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