Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
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Resine cresoliche (novolacche) e DDQ<br />
Inibizione di solubilità<br />
polimero<br />
DDQ<br />
Insolubile in acqua<br />
Fotolisi – formazione di un<br />
gruppo acido<br />
Resina solubile in acqua<br />
Incremento di solubilità – resist positivo<br />
17<br />
Pho.B.O.S.