Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Resine a base di poli(vinil)cinnammato • Vantaggi • Elevata sensibilità • Riproducibilità • Svantaggi • Scarsa adesione al substrato • Sensibilità all’ossigeno • Sensibilità all’umidità • Sensibilità alla temperatura • Necessità di sensibilizzatori con elevate rese di tripletto 12 Pho.B.O.S.
Resine a base bis-azidica * * n Poli(isoprene) acidi di Lewis * * n Elevata adesione, bassa T g CH 3 N N 3 N O 3 N hv O - N 2 N addizione * polimero CH 3 CH 3 ossidazione inserzione HN NO x 13 disattivazione Reticolazione – resist negativo Pho.B.O.S.
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