Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
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Photo Acid Generators - Requisiti<br />
1. Resa quantica di generazione di acido<br />
2. Caratteristiche dell’acido generato<br />
1. Forza acida (pK a )<br />
2. Volatilità<br />
3. Lunghezza di diffusione<br />
3. Lunghezza d’onda di assorbimento del generatore<br />
4. Solubilità<br />
5. Stabilità termica<br />
6. Costi di produzione e lavorazione<br />
7. Tossicità<br />
24<br />
Pho.B.O.S.
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