Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
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Limiti <strong>dei</strong> resists a radicali liberi<br />
• Sia la chimica <strong>dei</strong> cinnammati che<br />
quella delle bis azidi è ossigeno-sensibile<br />
• Tutte le formulazioni basate sulla<br />
chimica <strong>dei</strong> radicali liberi comportano<br />
rigonfiamento durante lo sviluppo<br />
Preferibili perché preservano film e maschera<br />
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Pho.B.O.S.