Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Fotolitografia e photoresists – Concetti base • Photoresist – materiale fotosensibile • Varie condizioni di esposizione • Aumento della solubilità • photoresist positivo • Diminuzione della solubilità • photoresist negativo • Vari processi di sviluppo • processi additivi • processi sottrattivi 6 Pho.B.O.S.
Applicazioni tecnologiche moderne • Microelettronica – circuiti integrati • Ottica avanzata • Sensoristica • Dispositivi micromeccanici • Dispositivi per diagnostica medica Dimensione totale del mercato connesso ai photoresist > 100 miliardi € anno 7 Pho.B.O.S.
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