Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Photo Acid Generators - Requisiti 1. Resa quantica di generazione di acido 2. Caratteristiche dell’acido generato 1. Forza acida (pK a ) 2. Volatilità 3. Lunghezza di diffusione 3. Lunghezza d’onda di assorbimento del generatore 4. Solubilità 5. Stabilità termica 6. Costi di produzione e lavorazione 7. Tossicità 24 Pho.B.O.S.
PAG - Sali di solfonio e iodonio (onium salts) DUV acidi inorganici DUV acidi organici Tecnologia 193 nm UV- Electron transfer induced PAG Fotogeneratore di acidi deboli (impediti) 25 Il tipo di controione viene usato per modificare forza acida, solubilità e diffusione a parità di lunghezza d’onda di esercizio Pho.B.O.S.
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