Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Sommario<br />
Litografia e fotolitografia<br />
Definizione ed applicazioni<br />
Resist litografici<br />
Resist positivi e negativi classici<br />
Dicromati<br />
Polivinilcinnammati<br />
Bisazidi<br />
Resist moderni<br />
Resine cresoliche (novolacche)<br />
Chemically amplified resists (PAG)<br />
Tecniche litografiche avanzate<br />
Microfabbricazione 3D indotta da assorbimento a due fotoni<br />
Fotogenerazione di acidi indotta da assorbimento multifotonico<br />
2<br />
Pho.B.O.S.
Change language