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Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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PAG – Contaminazioni ambientali<br />

Positive tone trattato immediatamente<br />

Positive tone trattato dopo 10 min<br />

30<br />

La contaminazione da impurezze basiche anche estremamente diluite presenti<br />

nell’aria porta a neutralizzazione – l’ambiente deve essere controllato con estrema<br />

cura<br />

Pho.B.O.S.

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