Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
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PAG – Contaminazioni ambientali<br />
Positive tone trattato immediatamente<br />
Positive tone trattato dopo 10 min<br />
30<br />
La contaminazione da impurezze basiche anche estremamente diluite presenti<br />
nell’aria porta a neutralizzazione – l’ambiente deve essere controllato con estrema<br />
cura<br />
Pho.B.O.S.