Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali
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Limiti delle resine novolacca DNQ<br />
Proprietà ottiche<br />
λ exp = 248 nm<br />
λ exp = 365 nm<br />
λ exp = 248 nm<br />
21<br />
La fotolisi graduale del DDQ non aumenta la trasparenza alla λ di<br />
esposizione – sviluppo incompleto e perdita di risoluzione<br />
Pho.B.O.S.