Cap 11 Fotoresisit Uno e Due Fotoni - Scienza dei Materiali

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Dry-film photoresists • Vantaggi • Nessun rigonfiamento durante lo sviluppo • Film omogenei • Bassa contaminazione da ossigeno • Elevata sensibilità – Un solo fotone genera una sequenza di reazioni Amplificazione chimica • Svantaggi • Elevato numero di passaggi 16 Pho.B.O.S.
Resine cresoliche (novolacche) e DDQ Inibizione di solubilità polimero DDQ Insolubile in acqua Fotolisi – formazione di un gruppo acido Resina solubile in acqua Incremento di solubilità – resist positivo 17 Pho.B.O.S.
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