22.05.2014 Aufrufe

Eine Reise in die Welt des Lichts - Photonik Forschung Deutschland

Eine Reise in die Welt des Lichts - Photonik Forschung Deutschland

Eine Reise in die Welt des Lichts - Photonik Forschung Deutschland

MEHR ANZEIGEN
WENIGER ANZEIGEN

Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.

YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.

■<br />

WIE FUNKTIONIERT DAS? - LICHT IM TÄGLICHEN LEBEN<br />

OPTISCHE TECHNOLOGIEN BESTIMMEN DAS TEMPO IM FAHRPLAN DER NANO-ELEKTRONIK<br />

Strukturen im Nano-Bereich herzustellen<br />

kommt der Aufgabe gleich, e<strong>in</strong>e Münze<br />

auf der Erdoberfläche vom <strong>Welt</strong>all aus<br />

nachzuzeichnen, und zwar präzise immer<br />

wieder auf denselben Fleck.<br />

Techniker setzen <strong>die</strong> Komponenten zu e<strong>in</strong>em leistungsstarken Abbildungssystem<br />

zusammen (Fotos: Carl Zeiss).<br />

Grundpr<strong>in</strong>zip der optischen Lithografie: Elektronik-Chips werden mit dem Verfahren der optischen Lithografie hergestellt.<br />

Dabei werden auf e<strong>in</strong>er Siliziumscheibe (Wafer) Strukturen <strong>in</strong> e<strong>in</strong>em strahlungsempf<strong>in</strong>dlichen Lack (Resist)<br />

erzeugt. Die Bestrahlung mit Laserlicht durch e<strong>in</strong>e Maske überträgt <strong>die</strong> gewünschte Struktur auf das Resist, denn<br />

das Licht verändert <strong>die</strong> Löslichkeit <strong>des</strong> Resists <strong>in</strong> e<strong>in</strong>er Entwicklerlösung. Nach Entfernen der belichteten Bereiche<br />

scheiden sich auf dem verbleibenden Relief <strong>die</strong> Leiterbahnen <strong>des</strong> Chips ab. Der verbleibende Resist <strong>in</strong> den Zwischenräumen<br />

wird abgelöst (Darstellung: VDI-Technologiezentrum).<br />

50

Hurra! Ihre Datei wurde hochgeladen und ist bereit für die Veröffentlichung.

Erfolgreich gespeichert!

Leider ist etwas schief gelaufen!