Eine Reise in die Welt des Lichts - Photonik Forschung Deutschland
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WIE FUNKTIONIERT DAS? - LICHT IM TÄGLICHEN LEBEN<br />
OPTISCHE TECHNOLOGIEN BESTIMMEN DAS TEMPO IM FAHRPLAN DER NANO-ELEKTRONIK<br />
Strukturen im Nano-Bereich herzustellen<br />
kommt der Aufgabe gleich, e<strong>in</strong>e Münze<br />
auf der Erdoberfläche vom <strong>Welt</strong>all aus<br />
nachzuzeichnen, und zwar präzise immer<br />
wieder auf denselben Fleck.<br />
Techniker setzen <strong>die</strong> Komponenten zu e<strong>in</strong>em leistungsstarken Abbildungssystem<br />
zusammen (Fotos: Carl Zeiss).<br />
Grundpr<strong>in</strong>zip der optischen Lithografie: Elektronik-Chips werden mit dem Verfahren der optischen Lithografie hergestellt.<br />
Dabei werden auf e<strong>in</strong>er Siliziumscheibe (Wafer) Strukturen <strong>in</strong> e<strong>in</strong>em strahlungsempf<strong>in</strong>dlichen Lack (Resist)<br />
erzeugt. Die Bestrahlung mit Laserlicht durch e<strong>in</strong>e Maske überträgt <strong>die</strong> gewünschte Struktur auf das Resist, denn<br />
das Licht verändert <strong>die</strong> Löslichkeit <strong>des</strong> Resists <strong>in</strong> e<strong>in</strong>er Entwicklerlösung. Nach Entfernen der belichteten Bereiche<br />
scheiden sich auf dem verbleibenden Relief <strong>die</strong> Leiterbahnen <strong>des</strong> Chips ab. Der verbleibende Resist <strong>in</strong> den Zwischenräumen<br />
wird abgelöst (Darstellung: VDI-Technologiezentrum).<br />
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