Anwendung sowie Bewertung der LCT/TLC - Lehrstuhl ...

Alternative Möglichkeiten der Temperaturerfassungen auf Oberflächen
Abb. 2.3: Widerstandsthermometer [7]
Sonderbauformen: Folien-, Dünn- und Dickfilm-Messwiderstände
Die Folienwiderstände kommen häufig in Thermometern zum Einsatz. Sie bestehen aus ei-
nem Platindraht der zwischen zwei Polyamidfolien geklebt wird. Diese Temperaturmesser
haben eine Dicke von 0,1-0,15 mm und zeichnen sich durch eine hohe Flexibilität aus. Bei
Temperaturen zwischen -80 bis +230°C werden sie deshalb oft an Rohrleitungen eingesetzt
[7].
Fertigungsverfahren aus der Halbleitertechnik ermöglichen die Herstellung von so genannten
Dünn- und Dickfilm-Messwiderständen. Hierbei wird eine 1 µm dünne Platinschicht auf ein
Aluminiumoxid-Substrat, welches auch als Trägermaterial dient, aufgedampft. Anschließend
wird die Platinschicht mit Hilfe eines Lasers strukturiert und auf den Nennwiderstand abge-
glichen und alles mit einer Glasschicht versiegelt. Damit liegt die Gesamtdicke des Mess-
elements, je nach Herstellung, noch unter den Folienwiderständen.
Vorteile gegenüber normalen Widerstandthermometern:
� kürzere Ansprechzeit durch geringere thermische Masse
� unempfindlicher gegen Stöße und Vibrationen
� Großserienfertigung besser möglich
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