Plenarvorträge - DPG-Tagungen
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Plasmaphysik Dienstag<br />
P 10.10 Di 17:45 Foyer<br />
Untersuchung zum Einfluss eines longitudinalen Magnetfeldes<br />
auf die Länge des Faradayschen Dunkelraums. — •Falk Ziegler,<br />
Holger Testrich, Ruslan Kozakov und Christian Wilke<br />
— Institut für Physik, Universität Greifswald, 17489 Greifswald<br />
Um den Einfluss eines externen longitudinalen Magnetfeldes auf die<br />
Länge des Faradayschen Dunkelraumes zu untersuchen, wurden Messungen<br />
an zylindrischen Neon-Glimmentladungen bei verschiedenen Entladungsströmen<br />
im Bereich von I = 5mA bis 30mA sowie verschiedenen<br />
Magnetfeldstärke zwischen 0mT und 195mT durchgeführt. Desgleichen<br />
konnte auch die Abhängigkeit der Länge des Faradayschen Dunkelraums<br />
vom Radius des Entladungsgefäßes mit Hilfe von Messungen bei konstantem<br />
Druck Messungen jedoch unterschiedlichen Radien demonstriert werden.<br />
Das Ergebnis des Experimentes zeigte eindeutig, dass mit steigender<br />
Magnetfeldstärke eine Vergrößerung des Faradayschen Dunkelraumes in<br />
axialer Richtung erfolgt, was mit abnehmenden Verlusten an der Wand<br />
erklärt werden kann. Ein einfaches hydrodynamisches Modell wurde zur<br />
Beschreibung des Phänomens benutzt und gestattet einen Vergleich von<br />
experimentellen und theoretischen Ergebnissen.<br />
P 10.11 Di 17:45 Foyer<br />
Anwachsprozesse von Kupfernanopartikel im Plasma und in<br />
Flüssigkeiten — •Gerd Gebauer, Thomas Galka und Jörg Winter<br />
— Ruhr-Universität Bochum, Institut für Experimentalphysik II<br />
Nanopartikel sind insbesondere für die moderne Materialtechnologie<br />
von zentraler Bedeutung. Hierbei ist es besonders wichtig die Anwachsprozesse<br />
von Nanopartikeln kleiner als 20nm insitu zu messen und deren<br />
Materialeigenschaften während des Anwachsprozesses gezielt zu beeinflussen.<br />
Für die Beobachtung dieser Prozesse wird die Mie-Ellipsometrie verwendet<br />
[1][2][3]. Bei den bisherigen Arbeiten [3][4][5] wurden Partikel<br />
ab einer Grösse von ca. 20nm und deren dielektrischen Materialeigenschaften<br />
insitu gemessen. In dieser Arbeit wird insbesondere über Vergleichsmessungen<br />
an Anwachsprozesse in Flüssigkeiten aufgezeigt, dass<br />
diese Messtechnik auch unterhalb einer Partikelgrösse von 20nm geeignet<br />
ist die Partikelgrösse und die dielektrischen Materialeigenschaften zu<br />
bestimmen und dass in diesem Grössenbereich die Messwerte von den<br />
Erwartungen der Mie-Theorie abweichen und auf der Grundlage einer<br />
Molekularen-Streutheorie erklärt werden müssen.<br />
[1]Y.Hayashi, Japan Journal of Applied Physics, 33, L476(1994).<br />
[2]G.Swinkels,Proefschrift, Technische Universiteit Eindhoven, (1999).<br />
[3]G.Gebauer, Dissertation, Ruhr-Universität Bochum, (2001).<br />
[4]T.Galka, Diplomarbeit, Ruhr-Universität Bochum, (2002).<br />
[5]G.Gebauer,T.Galka et.all, 29th EPS Conference on Plasma Physics<br />
and Controlled Fusion, Montreux, (2002).<br />
P 10.12 Di 17:45 Foyer<br />
Influence of atomic hydrogen on a:C-H film properties —<br />
•Olivera Stepanovic, Johannes Berndt, and Jörg Winter —<br />
Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum<br />
Amorphous carbon films (a-C:H) have found a great number of industrial<br />
and technical applications. They are widely used as protective<br />
coatings on optical devices, as wear resistant coatings etc. Depending on<br />
the deposition conditions (gas composition, ion energy etc.) the films can<br />
vary from soft polymer-like to hard hydrogen free diamond-like carbon<br />
films (DLC). Although they are intensively invesigated during the last 30<br />
years the understanding of their growth mechanism is still not well understood.<br />
For the investigation of deposition processes the expanding and<br />
ICP/CCP plasmas are used with an additional hydrogen atom source.<br />
The deposited films are characterized by means of ex-situ ellipsometry,<br />
Raman spectroscopy, XPS, RBS, NRA and AFM. This work was partially<br />
supported by the DFG in the frame of SFB 591 and by BMBF in<br />
the frame of the project FKZ 13N 8049.<br />
P 10.13 Di 17:45 Foyer<br />
Characterisation of polymer films deposited by a DBD in<br />
Ar/fluorocarbon mixtures — •Igor Vinogradov and Achim<br />
Lunk — Institut fuer Plasmaforschung, Universitaet Stuttgart,<br />
Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart, Germany<br />
Deposition of polymer films in a dielectric barrier discharges (DBD) at<br />
atmospheric pressure have been studied. Surface tension measurement,<br />
FTIR absorption spectroscopy, SEM and XPS methods were applied to<br />
get information on atomic content and surface topology of polymer films<br />
depending on fluorocarbon type and its concentration. The following fluorocarbon<br />
molecules have been studied: CF4, C2F6, C3HF7, and c-C4F8.<br />
From XPS spectra was found that polymer films can be deposited if the<br />
ratio F/C of primary fluorocarbon molecule is smaller than/or close to<br />
3. FTIR absorption spectroscopy of the films on Si wafer indicates that<br />
the main absorption belongs to CF2-groups (1220 cm-1). In addition, absorption<br />
peaks which belong to amorphous PTFE (723-741 cm-1), CF3groups<br />
(980 - 986 cm-1 and 1285 cm-1) and CF-groups (1090 cm-1 and<br />
1340 cm-1) are also observed in the spectra. FTIR absorption spectra and<br />
XPS both together show that cross linking effect during plasma polymerisation<br />
process increases with increasing H atom content in fluorocarbon<br />
molecule.<br />
P 10.14 Di 17:45 Foyer<br />
Spectral investigation of a radio frequency plasma jet operating<br />
from low to high pressure — •Dragos Liviu Crintea 1,2 ,<br />
Cristina Petcu 2 , Sorin Vizireanu 2 , Andrada Lazea 2 , Bogdana<br />
Mitu 2 , and G. Dinescu 2 — 1 Insitut für Experimentalphysik V, Ruhr<br />
Universität Bochum, Germany — 2 Low Temperature Plasma Physics Department,<br />
National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics,<br />
Bucharest, Romania<br />
A radiofrequency plasma jet source has been developed, operating in<br />
the pressure domain, from low (10 −2 mbar) up to atmospheric pressure.<br />
The plasma spatial distribution and plasma color are strongly dependent<br />
upon pressure and mass flow. Spectral studies of the jet and images<br />
taken by a digital camera when passing from low pressure to high pressure<br />
regimes are presented and discussed. Special emphasis is on the role<br />
played by pressure and mass flow on the operation of the source. Simulation<br />
of molecular spectra and comparison with experimental data has<br />
been applied in order to determine the molecular temperature. We focus<br />
on the N2 SPS and γ NO spectral systems for the spectral analysis. The<br />
contribution of electronic processes to spectra excitation is discussed.<br />
P 10.15 Di 17:45 Foyer<br />
Messung von Ionisierungsquerschnitten plasmatechnologisch<br />
relevanter Moleküle — •Ralf Basner — Institut für<br />
Niedertemperatur-Plasmaphysik, F.-L.-Jahn-Str. 19, 17489 Greifswald<br />
Die direkte und die dissoziative Elektronenstoßionisierung von reaktiven<br />
Molekülen sind fundamentale Prozesse in Niederdruckplasmen für<br />
technische Anwendungen. Die Quantifizierung des Ionisierungsprozesses<br />
ist unerlässlich für das Verständnis, die Modellierung und die Optimierung<br />
der jeweiligen Plasmabedingungen. Die absoluten partiellen<br />
Querschnitte für die einfach und die doppelt geladenen positiven Ionen<br />
der Prozessgase Chlor (Cl2) und Siliziumtetrachlorid (SiCl4) wurden<br />
mit einem speziellen Flugzeitmassenspektrometer im Energiebereich vom<br />
Schwellwert bis zu 200 eV experimentell bestimmt. Im Bereich niedriger<br />
Stoßenergien dominiert für Cl2 die direkte Ionisierung zu Cl + 2 und erst<br />
bei Energien ab 40 eV nimmt die dissoziative Erzeugung von Cl + vergleichbare<br />
Werte an. Beim SiCl4 werden im unteren Energiebereich SiCl + 4<br />
und SiCl + 3 zunächst nahezu gleichwertig erzeugt und erst mit wachsender<br />
Stoßenergie verschiebt sich der Schwerpunkt zugunsten der dissoziativen<br />
Ionisierung. Die Fragmentionen beider Moleküle werden vollständig erfasst,<br />
obwohl für sie das Auftreten von zum Teil erheblichen kinetischen<br />
Anfangsenergien nachgewiesen wird. Die Summe aller partiellen Querschnitte<br />
ergibt den totalen Ionisierungsquerschnitt.<br />
P 10.16 Di 17:45 Foyer<br />
Self Consistent Transport Computations in Tokamak Global<br />
Fluxtube Geometry — •Bruce Scott — Max-Planck-IPP, Euratom<br />
Association, Garching, Germany<br />
Computations in globally consistent fluxtube geometry in recent years<br />
have shown tokamak turbulence and anomalous transport to have a statistical<br />
and energetic character not necessarily following from corresponding<br />
linear instabilities. The statistical equilibrium resulting from the interaction<br />
with large scale ExB flows is part of that interaction. We now<br />
present the next step in the evolution of these computations: the fully<br />
self consistent interaction with the MHD equilibrium as well as the much<br />
slower diffusive relaxation of the profiles. Both simple fluid and comprehensive<br />
gyrofluid versions are presented; while the basic interactions are<br />
accessible with four field models following densities and currents, several<br />
phenomena of central relevance to experiments depend on the dynamics<br />
of the temperatures and parallel heat fluxes of each charged species as<br />
well. Progress towards the goal of a fully self consistent description of the<br />
tokamak edge including the inhomogeneous transition from edge to core<br />
parameters will be reported.