Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...

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cIPIITII rIt! iai IHII IDYT1JIRJ IDIE 1UU 1PM 1CVI IllIBllll4IITh AU IPIFJ Introduction Choix de la couche mince d'oxynitrure de silicium 11.1) En fonction de l'épaisseur 11.2) En fonction des différents sites 11.3) En fonction de l'indice de réfraction Conditions expérimentales des dépôts Résultats spectroscopiques IV. 1) Résultats ellipsométriques IV.2) Résultats obtenus en IR Résultats obtenus avec les mesures électriques Mesures CCV) sur structures solides C(V) en milieu liquide V2.1) Etude de la stabilité dans le temps pour l'échantillon 3 V22) Modele du "site binding" adapté â la swface des (oxy)nirrures de silicium V.2.3) Influence du sodium sur les variations du pH 52 52 52 53 55 56 57 57 58 61 61 61 62 63 71
Q Q I'àGI Cllllll1Ill1UI UJI ILI 1I IEIF LllC]IUil Différents types de REFET pour le développement d'un capteur pH 73 1.1) Dépôt de matériaux supposés inertes 1.1.1) Membranes bIo quantes 1.1.2) Membranes non bIo quantes 1.2 Membranes obtenues par greffage chimique 1.3) Autres techniques Préparation d'une membrane oxynitrure de silicium rendue insensible au pH par greffage chimique 11.1) Réaction de greffage 11.2) Caractérisation du greffage 11.2.1) Caractérisation du greffage sur les structures Si/SiO2/SiONyHz 76 11.2.1.1) Caractérisation du greffage par mesures électriques 76 11.2 .1 .2) Caractérisation du greffage par une méthode chimique 11.2.2) Caractérisation du greffage par mesures IR sur des poudres de nitrure de silicium 11.3) Résultats sur les structures SiJSiOJSiONH 11.4) Résultats sur les poudres 11.5) Greffages de molécules ionosensibles 113.1) Détection de l'ion argent 1132) Détection de l'ion calcium 73 73 74 74 75 76 76 76 76 77 78 82 83 83 84
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