Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...

électrode qui ne doit pas débiter de courant. Le montage électrochimique classique à trois
électrodes semble donc être bien indiqué, une contre électrode en platine permettant
d'assurer le passage du courant de l'électrode de travail constitué par notre substrat.
Le coeur du dispositif est constitué par un potentiostat rapide conçu au laboratoire
de l'Ecole Centrale de Lyon [41]. Ii permet la polarisation de la structure par rapport à
une électrode de référence (électrode au calomel saturée - Tacussel ) au moyen d'une
contre-électrode de platine.
Comme nous avons vu dans la première partie que les électrodes conventionnelles
avaient de fortes impédances de sortie, un adaptateur d'impédance (suiveur de tension)
sera alors interposé entre l'électrode de référence et le potentiostat assurant ainsi une
liaison basse impédance.
bus
WEE
Générateur
Référence
Détection synchrone
42
Micro-ordinateur
Cde Iou V
4 Iou V
Potentiostat rapide
suiveur
IP
ref ce travail
Cellule de mesure
Figure 13.' Schéma de principe du dispositif de mesure.
Un micro-ordinateur Apple-lIe délivre une tension continue par l'intermédiaire
d'un convertisseur numérique/analogique. Par ailleurs cet ordinateur permettra de piloter
l'ensemble du dispositif expérimental. Il assurera en outre le stockage et le traitement des
données qui pourront ensuite être exploitées sur Macintosh SE/30 après conversion des
fichiers.
Un générateur de fonction (Enertec 4431) délivre une tension alternative
sinusoïdale qui sera superposée à la tension continue. Son amplitude est choisie de façon
à ce que la modulation du niveau de Fermi autour de sa position d'équilibre ne soit pas
trop importante. Nous avons travaillé à 14 mV r.m.s [42].
Table traçante