Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...

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électrode qui ne doit pas débiter de courant. Le montage électrochimique classique à trois électrodes semble donc être bien indiqué, une contre électrode en platine permettant d'assurer le passage du courant de l'électrode de travail constitué par notre substrat. Le coeur du dispositif est constitué par un potentiostat rapide conçu au laboratoire de l'Ecole Centrale de Lyon [41]. Ii permet la polarisation de la structure par rapport à une électrode de référence (électrode au calomel saturée - Tacussel ) au moyen d'une contre-électrode de platine. Comme nous avons vu dans la première partie que les électrodes conventionnelles avaient de fortes impédances de sortie, un adaptateur d'impédance (suiveur de tension) sera alors interposé entre l'électrode de référence et le potentiostat assurant ainsi une liaison basse impédance. bus WEE Générateur Référence Détection synchrone 42 Micro-ordinateur Cde Iou V 4 Iou V Potentiostat rapide suiveur IP ref ce travail Cellule de mesure Figure 13.' Schéma de principe du dispositif de mesure. Un micro-ordinateur Apple-lIe délivre une tension continue par l'intermédiaire d'un convertisseur numérique/analogique. Par ailleurs cet ordinateur permettra de piloter l'ensemble du dispositif expérimental. Il assurera en outre le stockage et le traitement des données qui pourront ensuite être exploitées sur Macintosh SE/30 après conversion des fichiers. Un générateur de fonction (Enertec 4431) délivre une tension alternative sinusoïdale qui sera superposée à la tension continue. Son amplitude est choisie de façon à ce que la modulation du niveau de Fermi autour de sa position d'équilibre ne soit pas trop importante. Nous avons travaillé à 14 mV r.m.s [42]. Table traçante
La réponse de l'électrode de travail est analysée par un amplificateur à détection synchrone (ATNE type ADS 1). Un commutateùr électronique permet de mesurer les composantes en phase et en quadrature soit de la tension (Up et Uq), soit du courant (Ip et Iq) par rapport à la tension alternative sinusoïdale imposée. Le signal mesuré sera visualisé en permanence sur l'écran d'un oscilloscope. 111.2.1.3) Cellule électrochimique de mesure. Dans la cellule de mesure en pyrex, la distance entre l'électrode de travail et la contre-électrode est constante. Un joint torique permet d'assurer une surface constante (0,3 cm2) pour l'électrode de travail et la contre-électrode. Cette cellule comprend trois ouvertures: une pour l'électrode de référence, une pour pouvoir prendre la valeur du pH par exemple (électrode de verre combinée - Tacussel) et une pour pouvoir modifier la concentration des ions. Un agitateur magnétique permettra d'homogénéiser la solution. Pendant l'acquisition des données, cette cellule sera recouverte d'un drap noir afin d'éviter la création de charges photoinduites dans l'hétérostructure. La cellule électrochimique est schématisée sur la figure 14. A) vue latérale 43 Electrode de référence Electrode de travail Plexiglass connexion Platine Figure 14: Schéma de la cellule électrochimique de mesure. 111.2.2) Mesures de capacité sur structure MOS. B) vue frontale connexion Electrode de travail 111.2.2.1) Présentation de la méthode. Les différentes mesures électriques seront faites avec des pointes sur des micro- capacités (figure 15 ) préparées par le procédé de la lithographie. Les mesures sont faites
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BIBLIOGRAPHIE 101 L. BOUSSE, Thèse
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