Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...

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¡11.2.2) Durée de vie.
Un autre problème, est le faible temps de vie des ISFETs par rapport aux
électrodes. L'origine est soit due à l'encapsulation, soit due à une diminution de la
sensibilité pour les ions recherchés.
La diminution de la sensibilité pour les ions recherchés a été observée par les
auteurs travaillant avec des membranes composites (cf § ¡.3.2).
Les problèmes d'encapsulation (protection du capteur vis à vis du milieu
environnant excepté autour de la grille), font que la durée de vie des ISFETs n'excède pas
quelques mois dans le cas où des encapsulants organiques sont utilisés [28].
¡11.2.3) Effets interférents.
Les ISFETs étant constitués d'un matériau semi-conducteur, celui-ci va entraîner
certains problèmes sur la tension de grille: influence de la température, influence de la
lumière (effet photoélectrique). Toutefois en travaillant avec un système de mesure
différentielle, on devrait diminuer voire même annuler ces effets.
111.3) Différences d'ordres physico-chimiques.
Bien que les mécanismes de réponse aux ions entre les ISFETs et les électrodes de
verre (modèle de liaison par sites, et théorie de Uéchange ionique) soient différents,
certains auteurs pensent qu'il existe toujours une certaine similarité. Après tout, la
réponse non nerstienne observée avec de la silice par exemple, est obtenue en multipliant
l'équation de Nernst par un nombre sans dimension (/f3+l). De plus, des théories
modernes concernant l'explication de la réponse aux ions des électrodes de verre,
commencent à utiliser celle de la liaison par sites [29].
De par sa conception (inclusion de charges mobiles et effet de champ), l'ISFET
aura des problèmes de dérive, mais de par la leur, les électrodes de verre auront des
problèmes de potentiel asymétrique de part et d'autre de la membrane.
IV) ConcIusions
Les ISFETs n'ont pas encore atteint le seuil de commercialisation (exception faite
d'un ISFET pour la détection du pH avec une membrane en nitrure de silicium). De
nombreux travaux sont menés dans le monde afin d'essayer de résoudre certains
problèmes. En revanche, quand les ¡SFETs seront mis au point, de nombreux avantages
tant scientifiques que financiers leur permettront de concurrencer dans de nombreux
domaines les électrodes spécifiques conventionnelles. Pour conclure, si l'on regarde le
temps de recherche consacré aux ISFETs et aux électrodes de verre, pour ces dernières ce
temps a été bien plus long que celui actuellement destiné aux ISFETs.