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N° d'Ordre: ECL 91-12 Année 1991
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ECOLE CENTRALE DE LYON Directeur :
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à Sonia et à notre fils Alexandre
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Q ilFflAll11 Q INTRODUCTION GENERAL
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III) Caractérisations des couches
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Q Q I'àGI Cllllll1Ill1UI UJI ILI 1
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INTRODUCTION L'essor considérable,
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COMPARAISON ENTRE LES SYSTEMES ISE
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VG O: les trous sont repoussés ve
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7 ( + Ec)/2 (Qss + QB) (1.4) V1 = E
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9 Puisque l'interface Si/Si02 poss
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Espèce - chimique détectée Natur
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électrode de référence 13 V0t,j
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15 Le principe de fonctionnement de
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17 ll.2 Equations caractéristiques
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19 Par conséquent en présence d'u
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passer uniquement les ions de charg
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23 flI.2) Inconvénients des ISFETs
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25 PllSIRI EXPERIMENTATION
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27 outre, puisque la température n
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N20+e >NO+N* (11.1) NO+e >N*O* (11.
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31 bord du suscepteur, les clips ne
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33 temps que la formation de la sil
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35 La distance entre deux atomes de
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37 Une variation de la charge de su
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39 OÙ aj représente la densité d
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41 Cm et Rm sont les composantes r
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