Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...
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103<br />
J. HUBRECHT, J. VEREEKEN AND M. PIENS, J. Electrochemical. Soc,<br />
131 (1984) 2010.<br />
J. HUBRECHT, J. VEREEKEN, J.Electrochemical.Soc. 132 (1985) 2886.<br />
R. ROSSET, Analusis, 15 (1987) 1.<br />
Y. DUVAULT-HERRERA, Thèse <strong>de</strong> l'Ecole Centrale <strong>de</strong> Lyon, (1990).<br />
K.SZABO, N. LEHA, P. SCHNEIDER, P. ZELTNER, E.SZ. KOVATS,<br />
Helvetica Chimica Acta, 67 (1984) 1.<br />
L. BOKSANY, O; LIARDON, E.SZ. KOVATS, Helvetica Chimica Acta,<br />
59 (1976) 717.<br />
J.M. CHOVELON, DEA, (1988).<br />
N. JAFFREZIC-RENAULT, J.M. CHOVELON, H. PERROT, Y.<br />
CHEVALIER, P. LE PERCHEC, Brevet Français (1990).<br />
P. BERGVELD, Trans. Biomed. Eng., BME-19 (1972) 342.<br />
A. VAN DEN BERG, Thèse, Twente University of Technology, (1988).<br />
E. BUSTARRET et T.A. NGUYEN TAN, soumis à Phys. Rev B.<br />
D.L. HARAME, L. BOUSSE, J.D.SHOTT, J.D. MEINDL, IEEE<br />
Transactions on Electron Devices, 34 (1987) 1700.<br />
L. BOUSSE, N.F. DE ROOIJ, et P. BERG VELD, Surf. Sci. 135 (1983)<br />
479.<br />
Y. VLASOV, A. BRATOV, M. SIDORAVA, et Y. TARANTOV, Sensors<br />
and Actuators, B 1(1990) 357,<br />
R.O. JAMES, et G.A. PARKS, Surface and Colloid Science, 12 (1982)<br />
119<br />
A. VAN DEN BERG, A. GRISEL, H.H. VAN DEN VLEKKERT, N.F.<br />
DE ROOIJ, Sensors and actuators, BI (1990) 425.<br />
J.JANATA, A. BEZEGH, American Chem. Soc., 60 (1988) 62.<br />
T. MATSUO et H. NAKAJIMA, Sensors and Actuators, 5 (1984) 293.<br />
P.BERGVELD, A .VAN DEN BERG, P.D.VANDERWAL,<br />
M. SKOWRONSKA-PTASINSKA, E. J. R. SUDHOLTER et<br />
D.N. REINHOUDT, Sensors and Actuators, 18 (1989) 309.<br />
M. FUJIHIRA, M. FUKUI, et T. OSA, J. Electroanal. Chem., 106<br />
(1980) 413.<br />
H. NAKAJIMA, M. ESACHI et T. MATSUO, J. Electroanal. Chem., 129<br />
(1982) 141<br />
W. LEIMBROCK, U. LANDGRAF et G. KAMPFRATH, Sensors and<br />
actuators, B2 (1990) 1.