Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...

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104 A. VAN DEN BERG, P. BERGVELD, D. N. REINHOUDT et E.J. R. SUDHOLTER, Sensors and Actuators, 8 (1985) 129. P. BATAILLARD, P. CLECHET, N. JAFFREZIC-RENAULT, X.G. KONG et C. MARTELET, Sensors and Actuators, 12 (1987) 245. H.S. WONG et M.H. WHITE, IEEE Trans. Electron Devices, 36 (1989) 479. M. SKOWRONSKA-PTASINSKA, P.D. VAN DER WAL, A. VAN DEN BERG, P. BERGVELD, E. J.R. SUDHOLTER et D. REINHOUDT, Analytica Chimica Acta, 230 (1990) 67. H.H. VAN DEN VLEKKERT, N.F. DE ROIIJ, A. VAN DEN BERG et A. GRISEL, Sensors and Actuators, Bl (1990) 395. C. GAGET, D. MOREL, M. TRAORE, J. SERPINET, Analusis, 12 (1984) 386. Y. DUVAULT-HERRERA, N. JAFFREZIC-RENAULT, D. MOREL, J. SERPINET, J.L. DUVAULT, et G. HOLLINGER, Colloids and Surface, accepté. J.M CHOVELON, N. JAFFREZIC-RENAULT, Y. CROS, J.J. FOMBON, M.I BARATON, P. QUINTARD, Sensors and Actuators, accepté. G. BUSCA, V. LORENZELLI, G. PORCILE, M.I. BARATON, P. QUINTARD et R. MARCHAND, Materials Chemistry and Physics, 14 (1986) 123. G. BUSCA, V. LORENZELLI, M.I. BARATON, P. QUINTARD et R. MARCHAND, Journal of Molecular Structure, 143 (1986) 525. H. PERROT, N. JAFFREZIC-RENAULT, P.CLECHET, W.B. WLODARSKI, N.F. DE ROOIJ, H.H. VAN DEN VLEKKERT, Sensors and Actuators, Bl (1990) 380. N. JAFFREZIC-RENAULT, J.M. CHOVELON, H. PERROT, Y. CHEVALIER, P. LE PERCHEC, Sensors and Actuators, soumis. J. JANATA et R.J. HUBER, Solid State Chemical Sensors, Aca<strong>de</strong>mic Press, New York, p.153 (1985). Y. HANAZATO, M. NAKADO et S. SHIONO, IEEE Trans. Electron Devices, ED-33 (1986) 47. A. GRISEL, C. FRANCIS, E. VERNEY et G. MONDIN, Sensors and Actuators, 17 (1989) 285 W.H. KO et T.M.SPEAR, IEEE Eng.Med.Biol., 2 (1983) 24. A. SIBBALD, P.D. WHALLEY et A.K. COVINGTON, Anal. Chem. Acta, 159 (1984)47 N.J. HO, J. KRATCHOV[L, G.F. BLACKBURN et J.JANATA, Sensors and Actuators, 4 (1983) 413.
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N° d'Ordre: ECL 91-12 Année 1991
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