Préparation de couches minces d'oxynitrure de silicium par PECVD ...

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chimiques du cyanohydroxysilane sont effectivement perturbés par ces liaisons
hydrogène. Il a été proposé alors un autre mécanisme mettant en jeu un intermédiaire
chloropropylsilane. En fait cet intermédiaire sera également utilisé pour le greffage d'une
molécule sensible aux Ca+4[51,52,78]. La formation du groupement CN se fera par
substitution nucléophile de CN- sur le chlore.
I NaCN I
Si-NH2+HO-Si-(CH2)3-Cl-->ESi-O-Si-(CH2)3-Cl ---> Si-O-Si-(CH2)3-CN (IV. 10)
I I I
II.5.2 Détection de l'ion calcium.
Greffage du chioropropylsilane et transformation.
>N-(CH-PO I
Si-NH2 + HO-Si-(CH2)3-C1 ---> Si-O-Si-(CH2)3-Cl ---->Si-O-Si-(R)-PO3 (IV.1 1)
I I I
Afin de vérifier que l'intermédiaire chioropropylsilane a bien été greffé, des
mesures C(V) ont été faites juste après greffage des chaînes en C3, celles-ci devant
diminuer légèrement la sensibilité au pH. Différents essais ont été réalisés. Au début, tout
comme pour le greffage des longues chaînes alkyles, le greffage s'est effectué à 140 °C.
Aucune diminution de la sensibilité au pH n'a été enregistrée. En fait, les hydroxysilanes -
en C3 sont très instables et Ont une forte tendance à dimériser, perturbant ainsi le
greffage. La température de greffage a donc été diminuée en ayant au préalable isolé le
produit par chromatographie (d'après Kovats, même lors de leur synthèse à partir des
chiorosilanes, il se forme des dimères qu'il vaut mieux isoler). Les températures de
greffage testées sont: 70, 60, 50°C. Mais dans aucun cas le greffage n'a réussi,
l'instabilité du produit entrant en compétition avec la réactivité de la réaction . A priori les
longues chaînes alkyles sont bien greffées, mais les groupements ionosensibles restent
plus délicats.
Devant la difficulté de greffer des courtes chaînes hydroxysilanes trop réactives,
mais devant la possibilité de greffer des longues chaînes en Cl8, il est envisagé de faire
des insertions à travers ces longues chaînes de molécules ionosensibles (cf contrat MRT
multitêtes 1990-1992).