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Originalité du concept de composants GEMOEMSDans le domaine de la « micro-optique », les réseaux de diffraction et plus généralement leséléments d’optique diffractive sont largement présents et ont été développé à partir de la findes années 1980 ; nous pouvons citer entre autre les micro-lentilles de Fresnel 95 , l’élaboration decouches anti-reflets 96 , ou le filtrage optique par réseau de diffraction 97 , les réseaux séparateursde polarisation 98 . Certains composants relèvent par ailleurs de la miniaturisation de composantsexistant et utilisent des réseaux de diffraction, par exemple des micro-spectromètres 99 , des scannersoptiques 100 , ou encore des accéléromètres dont le réseau de diffraction est composé de deuxréseaux interdigités l’un fixe et l’autre mobile verticalement par rapport au support 101, 102 . Cescomposants n’utilisent toutefois pas de couplage avec un élément filtrant.En fait, le premier composant MOEMS utilisant un principe semblable au commutateur1 × 2 présenté au paragraphe 3.5, est un modulateur optique 103 . Ce modulateur est constitué95 M. E. Motamedi, W. H. Souththwell, R. J. Anderson, L. G. Hale, W. J. Gunning et M. Holz, « Highspeedbinary optic microlens array in GaAs », Proceedings of SPIE, vol. 1544, pp. 33 - 44, 1991.96 M. E. Motamedi, W. H. Souththwell et W. J. Gunning, « Antireflection surfaces in silicon usingbinary optic technology », Applied Optics, vol. 31, n o 22, pp. 4371 - 4376, 1992.97 R. Magnusson et S. S. Wang, « new principle for optical filters », Applied Physics Letters, vol. 61,n o 9, pp. 1022 - 1024, 1992.98 E. Noponen, « Electromagnetic theory of diffractive optics », Dissertation for the degree of Doctorof Technology, ISBN 9512220261, 1994.99 S. H. Kong, D. D. L . Wijngaards et R. F. Wolffenbuttel, « Infrared mircro-spectrometer based on adifraction grating », Sensors and Actuators, vol. 92, n o 1 - 3, pp. 88 - 95, 2001.100 A. A. Yasseen, S. W. Smith, F. L. Merat et M. Mehregany, « Diffraction grating scanners usingpolysilicon micromotors », IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, vol. 5, n o 1, pp.75-82, 1999.101 S. R. Manalis, S.C. Minne, A. Atalar et C.F.Quate, « interdigital cantilevers for atomic force microscopy», Applied Physics Letters, vol. 69, n o 25, pp. 3944 - 3946, 1996.102 E. B. Cooper, E. R. Post, S. Griffith, J. Levitan, S. R. Manalis, M. A. Schmidt et C. F. Quate,« High-resolution micromachined interferometric accelerometer », Applied Physics Letters, vol. 76, n o 22,pp. 3316 - 3318, 2000.103 O. Solgaard, F. S. A. Sandejas et D. M. Bloom, « Deformable grating optical modulator », OpticsLetters, vol. 17, n o 9, pp. 688 - 690, 1992.113