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ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

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Références bibliographiques[37] : H.A. Macleod, « Thin film optical filters », McGraw-Hill, New York, ISBN 0750306882,1986.[38] : R. Le Dantec, « Conception et étude de micro-cavités opto-mécaniques accordablessur InP pour le multiplexage en longueur d’onde », Thèse de doctorat, Institut Nationaldes Sciences Appliqués de <strong>Lyon</strong>, 1999.[39] : M. Garrigues, J. Danglot, J.-L. Leclercq et O. Parillaud, « Tunable High-FinesseInP/Air MOEMS filter », IEEE Photonics Technology Letters, vol. 17, n o 7, pp. 1471 -1473, 2005.[40] : C. Seassal, « Elaboration et étude de micro-dispositifs mecano-optique en semiconducteursIII-V », Thèse de doctorat, <strong>Ecole</strong> <strong>Centrale</strong> de <strong>Lyon</strong>, n o d’ordre 97-33, 1997.[41] : S. Greek, K. Hjort, J.-A. Schweitz, C. Seassal, J.-L. Leclercq, M. Gendry, M.-P.Besland, P. Viktorovitch, C. Figuet, V. Soulière et Y. Monteil, « The strength of indiumphosphide based microstructure », Proceedings of SPIE, vol. 3008, pp. 251 - 257, 1997.[42] : P. Germain, « Mécanique, Tome 1, cours de l’école polytechnique », Ellipse, ISBN2729886532, 1987.[43] : C. Seassal, « Elaboration et étude de micro-dispositifs mecano-optique en semiconducteursIII-V », Thèse de doctorat, <strong>Ecole</strong> <strong>Centrale</strong> de <strong>Lyon</strong>, n o d’ordre 97-33, 1997.[44] : J. I. Seeger et S. B. Crary, « Stabilization of electro-statically actuated mechanicaldevices », International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, pp. 1133 - 1136,1997.[45] : E. S. Hung et S. D. Senturia, « Extending the travel range of analog-tuned electrostaticactuators », Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 8, n o 4, pp. 497 - 505,1999.[46] : D. M. Burns et V. M. Bright, « Non linear flexure for stable deflection of an electrostaticallyactuated micromirror », Proceedings of SPIE : Microelectronics Structuresand MEMS for Optical Processing III, vol. 3226, pp. 125 - 135, 1997.[47] : P. Viktorovitch et al., « Microsystèmes opto-electromécaniques », Hermes sciencespublications, Paris, ISBN 27462058508, 2003.202

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