ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Chap.4 : Conception, réalisation et caractérisation d’un démonstrateurl’écriture du réseau : le facteur de dose, et le rapport cyclique nominal programmé. La premièreoption consiste à diminuer la dose ainsi que le rapport cyclique nominal, ce qui doit permettreégalement de diminuer les effets de proximité. Si cette solution permet effectivement d’obtenirau final le rapport cyclique souhaité, la netteté des flancs est mal assurée (cf. figure 4.16 (a)).L’option optimale est d’augmenter la dose et le rapport cyclique nominal en conséquence (cf.figure 4.16 (b)). Les effets de proximité demeurent limités avec le facteur de dose utilisée et lerapport cyclique nominal est augmenté d’environ 50 %.(a)(b)(c)(d)FIG. 4.15 - Calibration optimale des motifs lithographiés en ajustant la dose et le rapportcyclique nominal : (a) et (b) facteur de dose égal à 0,7 et f nominal = 0,15 ; (c) et (d) facteur dedose égal à 1,6 et f nominal = 0,3.150